はい、アルミニウムへのPVDは可能です。
概要
物理的気相成長法（PVD）は、アルミニウムに効果的に使用することができ、材料の美的および機能的特性を向上させる薄くて硬い金属コーティングを提供します。このプロセスは、自動車や半導体製造などの産業で一般的に採用されています。
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説明PVDプロセスとアルミニウム
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PVDは、材料を固体から蒸気の状態に変換し、基板上に凝縮させることによって薄膜を堆積させる方法です。アルミニウムはスパッタリングまたは蒸発させて皮膜を形成できるため、PVDに適した材料である。この文献では、PVDはアルミニウムを含む低コストまたは軽量な基材に使用することができ、優れた美観と耐摩耗性・耐腐食性を提供できると述べられている。
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産業界での応用
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PVDコーティング材料としてのアルミニウムは、ロゴマークやライトのようなプラスチック部品のコーティングに使用される自動車産業で一般的です。この用途は、アルミニウムへのPVDの多用途性を際立たせ、アルミニウムの光沢のある外観やその他の望ましい特性を維持することを可能にします。アルミニウムのPVDで使用される技術：
半導体業界では、蒸着によるPVDは主にウェハー上のアルミニウム膜の成膜に使用されています。PVDにおける蒸着法の利点には、高い成膜速度、基板表面へのダメージの少なさ、優れた膜純度、基板加熱の低減などがあります。さらに、プラズマ誘起スパッタリングは、スパッタリングされた金属が薄膜を形成し、ワイヤにエッチングすることができる、アルミニウム相互接続層に便利な技術として言及されています。
スパッタリング成膜：
