知識 るつぼは割れるか?
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技術チーム · Kintek Solution

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るつぼは割れるか?

はい、るつぼは割れることがあります。るつぼのひび割れの原因は、不適切なランプ/ソーク電力レベル、湿気、不適切な取り扱いまたは使用など、いくつかの要因に起因する可能性があります。

  1. 不適切なランプ/ソーク出力レベル:電子ビーム蒸着プロセスにおいて、るつぼは不適切な電力レベルにより急速な加熱および冷却サイクルにさらされます。ランプ2/ソーク2の電力レベルが必要な蒸着速度に近く設定されていない場合、電源を制御するPIDループは大幅な調整を行わなければならず、劇的な電力振動につながります。この振動により、るつぼ内の材料が急速に液化して凝縮し、るつぼに亀裂が入る可能性がある。これを防ぐには、ランプ/ソーク電力レベルを正確に設定し、電力調整を最小限に抑え、急激な温度変動を避けることが極めて重要です。

  2. 水分:るつぼは乾燥した環境に保ち、炉が加熱される際に溶解する金属と共に予熱する必要があります。少量の水分でも、加熱時にるつぼにひびが入ることがあります。これは、るつぼの内部または表面に閉じ込められた水分が、加熱されると蒸気に変わり、急激な膨張につながり、るつぼに亀裂が入る可能性があるためです。

  3. 不適切な取り扱いと使用:るつぼ、特に鋼鉄製のるつぼは、内面がうろこ状になったり、はがれたりすることがあり、るつぼの壁が弱くなり、ひび割れにつながることがあります。さらに、るつぼは損傷を防ぐため、適切なトングを使用して慎重に取り扱う必要がある。るつぼに冷たい金属を充填すると、加熱に伴う金属の急速な膨張により、るつぼにひびが入ることもあります。各使用前にるつぼに亀裂がないか点検し、破損しているものは交換することも重要です。

要約すると、るつぼの割れは、電子ビーム蒸着などのプロセス中に正確な電力設定を確保し、るつぼの乾燥環境を維持し、物理的損傷を避けるためにるつぼの取り扱いに注意することで防ぐことができます。るつぼの寿命を延ばし、高温プロセス中の予期せぬ故障を防ぐには、定期的な検査と適切な使用技術が不可欠です。

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