DLC(ダイヤモンドライクカーボン)の塗布温度は、コーティング方法や基材の材質によって異なります。DLCに一般的に使用されるPVD(物理的気相成長)コーティングの場合、基材温度は通常200~400℃です。これは、はるかに高温(600~1100℃または1112~2012°F)で作動するCVD(化学気相成長)プロセスよりも低い。熱に弱い材料の場合、歪みを最小限に抑えるために、900-950°F(482-510°C)でのプレテンパリングが必要になることがある。温度の選択は、基材の材質と希望するコーティング特性によって異なり、アルミニウムやプラスチックのような材質では、熱による損傷を避けるため、一般的に低温が好まれます。
キーポイントの説明

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DLC適用温度範囲:
- PVDコーティング:DLCに一般的に使用されるPVDコーティング中の基板温度は、一般的に以下の範囲です。 200-400°C (392-752°F) .これはCVDプロセスよりも大幅に低いため、PVDは熱に弱い材料に適している。
- CVDコーティング:ダイヤモンド・ライク・コーティングのCVDプロセスは、はるかに高温で行われます。 600~1100°C(1112~2012°F)である。 .これらの高温は、スチール基板に相変化のような熱影響を引き起こす可能性がある。
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基板材料に関する考察:
- 感熱材料:アルミニウムやプラスチックのような材料の場合、溶融や歪みを避けるために低温(400°Fまたは204°C以下)が好ましい。このような材料には、使用温度が低いPVDがよく選ばれます。
- スチールおよびその他の金属:鋼鉄基材の場合、より高い温度を使用することもできるが、以下の温度でプリテンパー処理を行う。 900-950°F (482-510°C) が必要な場合が多い。
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熱影響と後処理:
- 熱歪み:コーティングの温度が高いと、部品の硬度が変化したり、ひずみが生じたりすることがある。これは、600℃を超えることもあるCVDプロセスに特に関連します。
- コーティング後の熱処理:高温CVDコーティングの後、鋼鉄のような基板は、所望の相に戻ったり、内部応力を緩和したりするなど、特性を最適化するための熱処理が必要になる場合があります。
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ダイヤモンド膜蒸着:
- DLCの関連材料であるダイヤモンド膜は、通常、以下の温度で成膜される。 600~1100°C(1112~2012°F)で成膜される。 .を超える温度 1200°C(2192°F)を超える温度 は黒鉛化を引き起こし、コーティングの品質を劣化させる可能性があります。
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プロセス温度制御:
- プロセス温度は、基材に応じて以下の範囲で制御できる。 50°F~400°F (10°C~204°C) に対応します。このような柔軟性により、特定の材料特性や用途要件に合わせたコーティングプロセスが可能になります。
これらの重要なポイントを理解することで、装置や消耗品の購入者は、特定の用途に適したコーティングプロセスと温度について、十分な情報に基づいた決定を下すことができ、コーティングされた部品の最適な性能と寿命を確保することができます。
総括表
側面 | PVDコーティング | CVDコーティング |
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温度範囲 | 200-400°C (392-752°F) | 600-1100°C (1112-2012°F) |
適した素材 | 熱に弱い(アルミニウム、プラスチックなど) | 鋼鉄および金属(プレテンパー処理あり) |
熱効果 | 最小限の歪み | 鋼の潜在的な相変化 |
後処理 | 通常は不要 | 熱処理が必要な場合が多い |
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