物理的気相成長法(PVD)は、材料を凝縮相から気相に移行させることにより、薄膜やコーティングを形成する技術である。
PVDは原子レベルで動作する気化コーティング技術です。
PVDは一般的に真空環境で使用され、薄膜やコーティングを形成します。
PVDでは、固体または液体の原料を真空チャンバー内で気化させる。
この気化は、スパッタリング、熱蒸発、電子ビーム蒸発、レーザーアブレーションなど、さまざまな方法で行うことができる。
気化した材料は、原子や分子となって基材表面に凝縮します。
これにより、わずか数原子厚の薄いPVDコーティングが形成される。
このプロセスが真空環境で行われるのにはいくつかの理由がある。
第一に、真空はチャンバー内の原子密度を低下させ、原子の平均自由行程を長くする。
これにより、原子はチャンバー内に残留するガス分子と衝突することなく基板に到達する。
さらに、低圧蒸気環境は、市販の物理蒸着システムが適切に機能するために必要である。
PVDプロセスには、蒸発、輸送、反応、蒸着という4つの主要ステップがある。
蒸発の際、原料は気化され、蒸気相に変換される。
気化された材料は、真空チャンバー内で基板に運ばれる。
基板に到達すると、気化した材料が原子または分子として表面材料に凝縮する反応が起こる。
最後に、凝縮した材料は基板上に蒸着され、薄膜またはコーティングが形成される。
全体として、PVDは、所望の特性を持つ薄膜を作成するために使用することができる汎用性の高い技術です。
エレクトロニクス、光学、自動車など、さまざまな産業で広く利用されている。
用途としては、耐食性、耐摩耗性、光学コーティング、装飾コーティングなどがあります。
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