拡散ポンプの動作範囲は、通常1×10-3Torrから5×10-9Torrである。
つまり、この範囲内で高真空を発生させることができる。
拡散ポンプは、可動部品がないため、耐久性と信頼性が高いことで知られています。
ディフュージョンポンプの動作は、ディフュージョンポンプオイルとヒーターという2つの主要要素に依存しています。
ヒーターはオイルを加熱し、気化させて上昇させます。
上昇したオイル蒸気は、噴射口を持つ垂直テーパー状のスタックで圧縮され、空気を取り込む蒸気の傘を作ります。
拡散ポンプの運転範囲に関する5つのポイント
1.運転真空範囲
炉の性能に関しては、拡散ポンプ式炉は10-6 Torrの範囲で極限真空を達成することができます。
拡散ポンプの運転真空は通常10-5 Torrの範囲です。
2.ポンプダウン時間
高真空クロスオーバーまでのポンプダウン時間は約10分です。
1×10-4Torrに達するまでのポンプダウン時間は約15分です。
3.ファーネスリーク率
適切な操作のためには、ファーネスのリーク率は毎時5ミクロン以下でなければなりません。
4.真空システムコンポーネント
拡散ポンプの真空システムコンポーネントには、通常、真空の初期段階として機械式ポンプまたは機械式ポンプ/ブロワータイプのシステムが含まれる。
圧力が20Torr以下になると、機械式ポンプの効率は低下し始め、ブースターポンプが使用される。
拡散ポンプは10ミクロンから1ミクロンの間でポンプシステムに作動し、システムを高真空以下まで排気できるようにする。
5.メンテナンスと運転
ディフュージョンポンプのメンテナンスには、適切なオイルレベルを確保することと、ヒーターが動作可能であることを確認することが含まれる。
ヒーターエレメントは通常、クラッシュプレートによってボイラープレートに対して保持されるチューブ状のエレメントで、ポンプ上のねじスタッドを使用してクランププレートと位置合わせされます。
適切な位置合わせは、効率的な運転のために非常に重要です。
全体として、拡散ポンプは、その耐久性、信頼性、および高真空レベルを生成する能力により、電子ビーム顕微鏡、真空蒸着、コーティング、真空炉などの産業用アプリケーションで広く使用されています。
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