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蒸発と蒸着の主な違いは、薄膜形成プロセスにおける役割にある。蒸発は、材料が高温のソースから気化して気体になるプロセスであり、蒸着は、気化した材料が凝縮して基板上に薄膜を形成するプロセスである。
蒸発：
薄膜蒸着における蒸発とは、固体または液体の材料が、熱を加えることによって気体状態に変化することである。このプロセスは通常、真空環境で行われ、他のガスや汚染物質が除去され、目的の材料のみが気化するようにします。真空の設定は、蒸発する材料の純度と完全性を維持するために非常に重要である。蒸着：
蒸着、特に蒸発蒸着は、蒸発した材料が凝縮して基板上に薄膜を形成するその後のプロセスを指す。このプロセスは、均一で高品質な薄膜が要求される微細加工などの用途に不可欠です。蒸着は、物理蒸着法（PVD）、化学蒸着法（CVD）、原子層蒸着法（ALD）など、さまざまな技術によって実現できる。それぞれの技法には特有のメカニズムや条件がありますが、いずれも材料を気相から表面に蒸着させるものです。
比較と考察
薄膜を堆積するための容器。アルミニウムコーティングされたセラミックボディを備えており、熱効率と耐薬品性が向上しています。さまざまな用途に適しています。
有機物用蒸発ボートは、有機材料の蒸着時に正確かつ均一な加熱を行うための重要なツールです。
PECVD コーティング装置でコーティング プロセスをアップグレードします。 LED、パワー半導体、MEMSなどに最適です。低温で高品質の固体膜を堆積します。
電子銃ビーム蒸着の場合、るつぼは、基板上に蒸着する材料を入れて蒸着するために使用される容器またはソースホルダーです。
主にパワーエレクトロニクス分野で使用される技術。炭素原料を電子ビーム技術を用いて材料蒸着により作製したグラファイトフィルムです。
RF-PECVD は、「Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition」の頭字語です。ゲルマニウムおよびシリコン基板上にDLC（ダイヤモンドライクカーボン膜）を成膜します。 3～12umの赤外線波長範囲で利用されます。
有機物用の蒸発るつぼは、蒸発るつぼと呼ばれ、実験室環境で有機溶媒を蒸発させるための容器です。
高温用途向けの容器。材料を極度の高温に保って蒸発させ、基板上に薄膜を堆積できるようにします。
様々な金属や合金の蒸着に使用できます。ほとんどの金属は損失なく完全に蒸発できます。蒸発バスケットは再利用可能です。
電子ビーム蒸着技術を使用する場合、無酸素銅るつぼを使用すると、蒸着プロセス中の酸素汚染のリスクが最小限に抑えられます。
ナノダイヤモンド複合コーティング引抜ダイスは、超硬合金（WC-Co）を基材とし、化学気相法（略してCVD法）を用いて従来のダイヤモンドとナノダイヤモンド複合コーティングを金型の内孔表面にコーティングする。
