真空の校正とは、真空圧力の測定に使用される機器が正確な測定値を提供していることを確認するプロセスを指します。
これは、計器によって生成された測定値を標準または許容公差のものと比較することによって行われます。
定期的な校正は、真空圧測定の再現精度を保証するために重要です。
真空の校正とは？理解すべき7つのポイント
1.真空アプリケーションにおける精度の重要性
真空作業に必要な精度を決定するには、特定のアプリケーションとその真空制御要件を考慮する必要があります。
真空乾燥オーブンや濾過のような特定の用途では、真空制御は絶対に必要というわけではありません。
しかし、他の用途では真空制御が必要である。
2.真空校正に関わるコンポーネント
真空の校正には、さまざまなコンポーネントとシステムが関与します。
これには、調整・制御盤（安全PLCとソフトウェアを含む場合がある）、炉とポンプの冷却ニーズを満たす冷却水システム、高度な圧力制御を備えたガス供給システム、露点測定によるガス純度の測定などが含まれる。
3.測定精度と真空チャンバー
測定精度の面では、組み立て前の各部品の形状や寸法、組み立てられた真空チャンバーの形状や寸法が重要である。
これらの測定では、マイクロメートルオーダーの精度で3次元的な管理が要求されることが多い。
巻尺やノギスなどのハンドツールでは不十分な場合があるため、ブリッジ型三次元測定機（CMM）が一般的に使用されている。
しかし、大型の真空チャンバーを測定室に移動し、CMMにセットするのは困難な場合がある。
また、現場での測定が必要な場合もあり、大型のチャンバーには高度な測定スキルと複数の人員が必要となる。
4.高真空条件とシステム設計
高真空(HV)、超高真空(UHV)、極高真空(XHV)条件下での作業には、システム設計と使用材料に慎重な配慮が必要です。
真空チャンバー内の開口部や接合部の端面やシール面の平坦度を正確に測定する必要があります。
平坦度の誤差は、リークなどの問題を引き起こし、真空チャンバーの動作精度に影響を与える可能性があります。
入念な検査を行い、製造工程で加工精度を測定し、CAD設計データと比較することが重要である。
5.正確な真空圧測定の確保
全体として、真空の校正には、正確な真空圧測定を確実にし、アプリケーションの特定の真空制御要件を考慮し、真空チャンバーとそのコンポーネントの形状と寸法を慎重に測定することが含まれます。
専門家にご相談ください。
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