知識 プラズマコーティングとは?5つの主要テクニックを解説
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技術チーム · Kintek Solution

更新しました 3 months ago

プラズマコーティングとは?5つの主要テクニックを解説

プラズマコーティングは、基材に薄い層を形成し、その特性を向上させたり、変更したりするために使用されるプロセスである。

この技術は、親水性、疎水性、反射防止、絶縁性、導電性、耐摩耗性など、さまざまな特性を持つコーティングを作り出すことができる。

物理蒸着法(PVD)とプラズマエンハンスト化学蒸着法(PECVD)のどちらを選ぶかは、基材の性質と希望するコーティングの種類によって異なります。

プラズマコーティングとは?5つの主要技術を解説

プラズマコーティングとは?5つの主要テクニックを解説

1.プラズマエンハンスト化学気相成長法(PECVD)

PECVDは、薄膜の成膜に必要な化学反応を高めるためにプラズマを使用します。

この方法は汎用性が高く、処理媒体を調整することで特定の特性を持つコーティングを作ることができる。

例えば、ダイヤモンドライクカーボン(DLC)コーティングは、環境にやさしく、ダイヤモンドのような硬い表面を実現します。

このプロセスでは、プラズマに導入された炭化水素(水素と炭素の組み合わせ)が解離し、表面で再結合して硬質層を形成する。

2.イオンプレーティング

イオンプレーティングは、チタン、アルミニウム、銅、金、パラジウムなどの金属を析出させるために使用されるプラズマベースの技術である。

コーティングは通常0.008~0.025mmと薄く、密着性の向上、表面仕上げ、析出前の基板その場洗浄などの利点がある。

しかし、処理パラメーターを正確に制御する必要があり、潜在的な汚染の問題につながる可能性がある。

用途としては、X線管、タービンブレード、原子炉の腐食防止などがある。

3.イオン注入とプラズマ蒸着

イオン注入では、プラズマを使用して、さまざまなサイズや形状の対象物にさまざまな材料の層を堆積させる。

この技術は汎用性が高く、さまざまな用途に使用できる。

コーティング PVDはプラズマ蒸着の一種で、表面での化学反応を必要とせず、物理的に表面に薄い層を蒸着させる。

一般的な方法のひとつがプラズマ・スパッタ蒸着で、プラズマ・イオンを使って材料を気化させ、それを目的の表面に蒸着させる。

4.物理蒸着(PVD)

PVDはプラズマコーティングで使用されるもう一つの技術で、化学反応を伴わない材料の物理的蒸着に焦点を当てている。

この方法は、幅広い用途に適した、耐久性があり精密なコーティングの作成によく使用される。

5.用途と利点

全体として、プラズマコーティングは、材料の表面特性を変更するための洗練された方法である。

工業用途から装飾用途まで、さまざまな用途があり、耐久性、耐食性、美観の向上のためのソリューションを提供します。

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