技術チーム · Kintek Solution

蒸着にはさまざまな種類がありますか？

はい、蒸着、特に真空蒸着技術にはさまざまな種類があります。物理的気相成長法（PVD）と化学的気相成長法（CVD）です。

物理的気相成長法（PVD）：

PVDでは、電子ビームやプラズマのような高エネルギー源を使用するか、単純な加熱によって固体材料を気化させます。気化した材料は基板上に凝縮し、薄膜を形成する。PVDは汎用性が高く、金属、合金、セラミックなど幅広い材料を蒸着することができる。コーティング、表面処理、半導体製造などの用途で一般的に使用されている。このプロセスでは、成膜を妨害する可能性のある空気分子が存在しないため、均一な層が形成される。化学気相成長法（CVD）：

CVDは、固体表面上に原子単位または分子単位で物質の薄いまたは厚い層を形成するために使用されるプロセスである。蒸着された層は、用途に応じて基板表面の特性を変化させる。層の厚さは、原子1個分（ナノメートル）から数ミリメートルまで様々である。CVD法には、スプレー法、スピンコーティング法、メッキ法、真空蒸着法など、さまざまな表面にさまざまな材料の層を形成する技術が含まれる。