薄膜の厚みを求めるために一般的に使用される測定技術は分光エリプソメトリーです。分光エリプソメトリーは、透明・半透明の単層・多層フィルムの厚みを測定できる非破壊・非接触の方法です。エレクトロニクスや半導体などの産業で広く利用されています。この方法では、膜厚と屈折率や消衰係数などの光学特性を同時に測定することができます。分光エリプソメトリーが適している膜厚範囲は1nm~1000nmです。しかし、光学に使用される透明基板に基づく薄膜の厚さを正確に測定できない場合があります。スタイラス・プロフィロメトリーやインターフェロメトリーなどの他の技術も、膜厚の機械的測定に使用できますが、フィルム表面に溝や段差があることが必要です。薄膜厚さの測定技術を選択する際には、材料の透明度、必要な追加情報、予算などの要素を考慮することが重要です。
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