管状炉では通常、ムライトや再結晶アルミナ (RCA)のようなセラミック材料、石英ガラス、またはステンレス鋼やインコネルのような金属から作られた作業管が使用されます。材料の選択は、必要とされる最高使用温度や耐薬品性など、用途の具体的な要件によって異なります。
セラミック材料:
- ムライトと再結晶アルミナ(RCA): これらのセラミックは、高温耐性と化学的安定性のために選択されます。高温を伴い、化学反応への耐性が重要な用途に適しています。特にRCAは、優れた耐熱衝撃性と高純度で知られており、半導体製造のような繊細なプロセスに最適です。
石英ガラス:
- 石英管はコスト効率が高く、透明であるため、プロセスの目視監視に有益です。1200℃までの使用に適している。ただし、他の材料ほど多くの熱-冷却サイクルに耐えられない場合があり、頻繁な温度変化が必要な用途では考慮が必要です。
金属
- ステンレス鋼とインコネル: これらの金属は熱伝導性と機械的強度に優れ、さまざまな高温用途に適している。特にインコネルは、高温での酸化と腐食に対する優れた耐性で知られており、これらの要素が重要な環境では有益です。
各材料には固有の利点と限界があり、その選択は、温度範囲、化学環境、機械的応力など、プロセスの特定の要件によって決まる。例えば、イットリウムバリウム銅酸化物(YBa2Cu3O7)のような超伝導体の調製では、高温での安定性と化学反応への耐性から、白金やアルミナのような材料が使用される。同様に、化学蒸気輸送プロセスでは、特定の条件に耐え、処理される材料の汚染を防ぐために、管材料の選択が重要です。
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