物理的気相成長法(PVD)は、さまざまな材料に薄膜を形成するために用いられる技術である。
これらのコーティングの厚さは、原子層から数ミクロンまで大きく変化します。
物理蒸着膜の厚さとは?(考慮すべき4つのキーファクター)
1.厚さの範囲
PVDコーティングは、数ナノメートルの薄さから数マイクロメートルの厚さまで可能です。
PVDコーティングの一般的な範囲は、1~10マイクロメートル(µm)です。
2.スパッタリングプロセス時間の影響
PVDコーティングの膜厚は、スパッタリングプロセスの持続時間に直接影響される。
スパッタリングプロセスが長く続けば続くほど、膜厚は厚くなる。
3.コーティング粒子のエネルギーの影響
コーティング粒子のエネルギーレベルも膜厚を決定する上で重要な役割を果たす。
このエネルギーは、数十電子ボルトから数千電子ボルトまであり、成膜速度に影響する。
4.熱蒸発法
一般的なPVD法である熱蒸発法では、コーティングは通常オングストロームからミクロンに及ぶ。
この方法では、固体材料が蒸気雲を形成するまで加熱し、それが基板上に凝縮する。
厚さは、蒸発プロセスの時間と材料の蒸気圧に依存します。
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