知識 物理蒸着法の厚みとは?(考慮すべき4つのポイント)
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技術チーム · Kintek Solution

更新しました 2 months ago

物理蒸着法の厚みとは?(考慮すべき4つのポイント)

物理的気相成長法(PVD)は、さまざまな材料に薄膜を形成するために用いられる技術である。

これらのコーティングの厚さは、原子層から数ミクロンまで大きく変化します。

物理蒸着膜の厚さとは?(考慮すべき4つのキーファクター)

物理蒸着法の厚みとは?(考慮すべき4つのポイント)

1.厚さの範囲

PVDコーティングは、数ナノメートルの薄さから数マイクロメートルの厚さまで可能です。

PVDコーティングの一般的な範囲は、1~10マイクロメートル(µm)です。

2.スパッタリングプロセス時間の影響

PVDコーティングの膜厚は、スパッタリングプロセスの持続時間に直接影響される。

スパッタリングプロセスが長く続けば続くほど、膜厚は厚くなる。

3.コーティング粒子のエネルギーの影響

コーティング粒子のエネルギーレベルも膜厚を決定する上で重要な役割を果たす。

このエネルギーは、数十電子ボルトから数千電子ボルトまであり、成膜速度に影響する。

4.熱蒸発法

一般的なPVD法である熱蒸発法では、コーティングは通常オングストロームからミクロンに及ぶ。

この方法では、固体材料が蒸気雲を形成するまで加熱し、それが基板上に凝縮する。

厚さは、蒸発プロセスの時間と材料の蒸気圧に依存します。

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