知識 ガスのスパッタリングプロセスとは?4つのポイントを解説
著者のアバター

技術チーム · Kintek Solution

更新しました 1 month ago

ガスのスパッタリングプロセスとは?4つのポイントを解説

スパッタリングとは、気体プラズマを利用して固体ターゲット材料から原子を放出させ、様々な基板上に薄膜を成膜する技術である。

このプロセスは、半導体、光学機器、データストレージなどの産業で広く使用されている。

スパッタリング・プロセスには、真空を作り、不活性ガスを導入し、プラズマを発生させ、イオンを加速してターゲットから原子を離脱させ、基板上に堆積させるといったいくつかの工程が含まれる。

4つのポイントを解説ガスのスパッタリングプロセスとは?

ガスのスパッタリングプロセスとは?4つのポイントを解説

スパッタリングの定義と応用

スパッタリングは物理的気相成長(PVD)技術であり、高エネルギー粒子(通常はイオン)による衝撃によって原子が固体ターゲット材料から放出される。

半導体、光学機器、データストレージなど様々な産業において、基板上に均一性、密度、純度、密着性に優れた薄膜を成膜するために使用される。

スパッタリングの工程

真空形成

コンタミネーションを最小限に抑え、プラズマの形成を促進するため、成膜チャンバー内を非常に低い圧力(通常10^-6 torr程度)まで排気する。

スパッタリングガスの導入

不活性ガス(通常はアルゴン)をチャンバー内に導入する。ガスの選択はターゲット材料によって異なり、軽元素にはネオン、重元素にはクリプトンまたはキセノンが、効率的な運動量移動のために好まれる。

プラズマの発生

チャンバー内の2つの電極間に電圧を印加し、プラズマの一種であるグロー放電を発生させる。このプラズマでは、自由電子がガス原子と衝突して電離し、正イオンを生成する。

イオンの加速

スパッタリングガスのプラスイオンは、印加された電圧によってカソード(ターゲット)に向かって加速される。

ターゲットの侵食と成膜

加速されたイオンはターゲットに衝突し、原子や分子を放出します。放出された粒子は蒸気となってチャンバー内を移動し、基板上に薄膜として堆積する。

メカニズムと発見

スパッタリングのメカニズムには、イオンからターゲット原子への運動量の伝達が含まれ、それによって原子が放出され、基板上に堆積する。

この技術は1852年に初めて発見され、1920年にラングミュアが薄膜堆積法としてさらに発展させた。

スパッタリングの利点

スパッタ薄膜は、均一性、密度、純度、密着性に優れた高品質を示す。

反応性スパッタリングにより、正確な組成の合金や、酸化物や窒化物のような様々な化合物の成膜が可能です。

これらの重要なポイントを理解することで、ラボ機器の購入者はスパッタリングプロセスの複雑さと精度を理解することができ、選択した機器がアプリケーションにおける高品質の薄膜蒸着に対する特定の要件を満たしていることを確認することができます。

探求を続けるには、当社の専門家にご相談ください。

KINTEK SOLUTIONの最先端ラボ装置で、スパッタリングの精度を最大限にご体験ください。

当社の最先端技術は、均一性、密度、純度の高い超薄膜成膜を実現します。

半導体、光学、データストレージの研究を、当社のソリューションがどのように向上させるかをご覧ください。

KINTEK SOLUTIONで研究の次のステップを踏み出しましょう。

当社の特殊なスパッタリングシステムが、お客様の研究室の効率と成果をどのように変えることができるか、今すぐお問い合わせください!

関連製品

スパークプラズマ焼結炉 SPS炉

スパークプラズマ焼結炉 SPS炉

スパークプラズマ焼結炉のメリットを発見してください。均一加熱、低コスト、環境に優しい。

硫化亜鉛(ZnS)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

硫化亜鉛(ZnS)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

研究室のニーズに合わせた硫化亜鉛 (ZnS) 材料を手頃な価格で入手できます。当社は、さまざまな純度、形状、サイズの ZnS 材料を製造およびカスタマイズします。スパッタリング ターゲット、コーティング材料、粉末などを幅広い選択肢からお選びいただけます。

硫化モリブデン(MoS2)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

硫化モリブデン(MoS2)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

研究室のニーズに合った高品質の硫化モリブデン材料を手頃な価格で見つけてください。カスタマイズされた形状、サイズ、純度も利用可能です。スパッタリング ターゲット、パウダーなどの当社のセレクションをご覧ください。

プラズマ蒸着PECVDコーティング機

プラズマ蒸着PECVDコーティング機

PECVD コーティング装置でコーティング プロセスをアップグレードします。 LED、パワー半導体、MEMSなどに最適です。低温で高品質の固体膜を堆積します。

硫化アンチモン(Sb2S3)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

硫化アンチモン(Sb2S3)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

研究室用の高品質の硫化アンチモン (Sb2S3) 材料を手頃な価格で入手できます。当社のカスタマイズ可能な製品には、スパッタリング ターゲット、パウダー、フォイルなどが含まれます。今すぐ注文!

高純度アンチモン(Sb)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

高純度アンチモン(Sb)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

特定のニーズに合わせてカスタマイズされた高品質のアンチモン (Sb) 材料を入手してください。豊富な形状とサイズをリーズナブルな価格でご提供いたします。当社のスパッタリング ターゲット、パウダー、フォイルなどをご覧ください。

硫化タングステン(WS2)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

硫化タングステン(WS2)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

研究室用の硫化タングステン (WS2) 材料をお探しですか?当社は、スパッタリング ターゲット、コーティング材料、パウダーなどを含む、カスタマイズ可能な幅広いオプションを手頃な価格で提供しています。今すぐ注文!

高純度セレン(Se)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

高純度セレン(Se)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

実験室用に手頃な価格のセレン (Se) 材料をお探しですか?当社は、お客様の独自の要件に合わせて、さまざまな純度、形状、サイズの材料の製造と調整を専門としています。当社のスパッタリング ターゲット、コーティング材料、粉末などの製品ラインナップをご覧ください。

高純度バナジウム(V)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

高純度バナジウム(V)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

研究室用の高品質バナジウム (V) 材料をお探しですか?当社は、スパッタリング ターゲット、パウダーなど、お客様の独自のニーズに合わせてカスタマイズ可能なオプションを幅広く提供しています。競争力のある価格については、今すぐお問い合わせください。

RF PECVD システム 高周波プラズマ化学蒸着

RF PECVD システム 高周波プラズマ化学蒸着

RF-PECVD は、「Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition」の頭字語です。ゲルマニウムおよびシリコン基板上にDLC(ダイヤモンドライクカーボン膜)を成膜します。 3~12umの赤外線波長範囲で利用されます。

炭化ホウ素(BC)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

炭化ホウ素(BC)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

ラボのニーズに合わせて、高品質の炭化ホウ素材料を手頃な価格で入手できます。当社は、スパッタリング ターゲット、コーティング、粉末などを含む、さまざまな純度、形状、サイズの BC 材料をカスタマイズします。

電子ビーム蒸着コーティング無酸素銅るつぼ

電子ビーム蒸着コーティング無酸素銅るつぼ

電子ビーム蒸着技術を使用する場合、無酸素銅るつぼを使用すると、蒸着プロセス中の酸素汚染のリスクが最小限に抑えられます。

高純度ゲルマニウム(Ge)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

高純度ゲルマニウム(Ge)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

研究室のニーズを満たす高品質の金素材を手頃な価格で入手できます。当社のカスタムメイドの金素材は、お客様の独自の要件に合わせてさまざまな形状、サイズ、純度で提供されます。当社のスパッタリング ターゲット、コーティング材料、ホイル、パウダーなどの製品ラインナップをご覧ください。

電子銃ビームるつぼ

電子銃ビームるつぼ

電子銃ビーム蒸着の場合、るつぼは、基板上に蒸着する材料を入れて蒸着するために使用される容器またはソースホルダーです。

硫化スズ(SnS2)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

硫化スズ(SnS2)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

研究室向けの高品質な硫化スズ (SnS2) 材料を手頃な価格で見つけてください。当社の専門家は、お客様の特定のニーズに合わせて材料を製造およびカスタマイズします。当社のスパッタリング ターゲット、コーティング材料、粉末などの製品ラインナップをご覧ください。

高純度シリコン(Si)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

高純度シリコン(Si)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

研究室用の高品質シリコン (Si) 材料をお探しですか?これ以上探さない!当社のカスタム生産されたシリコン (Si) 材料には、お客様固有の要件に合わせてさまざまな純度、形状、サイズが用意されています。スパッタリング ターゲット、パウダー、フォイルなどの当社のセレクションをご覧ください。今すぐ注文!

ラボおよびダイヤモンド成長用の円筒共振器 MPCVD マシン

ラボおよびダイヤモンド成長用の円筒共振器 MPCVD マシン

宝飾品業界や半導体業界でダイヤモンド宝石やフィルムを成長させるために使用されるマイクロ波プラズマ化学蒸着法である円筒共振器 MPCVD マシンについて学びます。従来の HPHT 方式と比べて費用対効果の高い利点を発見してください。

高純度パラジウム(Pd)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

高純度パラジウム(Pd)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

研究室向けに手頃な価格のパラジウム材料をお探しですか?当社は、スパッタリングターゲットからナノメートルパウダーや3Dプリンティングパウダーに至るまで、さまざまな純度、形状、サイズのカスタムソリューションを提供します。今すぐ当社の製品ラインナップをご覧ください。

ラボおよびダイヤモンド成長用のベルジャー共振器 MPCVD マシン

ラボおよびダイヤモンド成長用のベルジャー共振器 MPCVD マシン

ラボおよびダイヤモンドの成長用に設計されたベルジャー レゾネーター MPCVD マシンを使用して、高品質のダイヤモンド フィルムを取得します。炭素ガスとプラズマを使用してダイヤモンドを成長させるマイクロ波プラズマ化学気相成長法がどのように機能するかをご覧ください。

高純度インジウム(In)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

高純度インジウム(In)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

実験室用の高品質インジウム材料をお探しですか?これ以上探さない!当社の専門知識は、さまざまな純度、形状、サイズのインジウム材料をカスタマイズして製造することにあります。当社は、お客様の固有の要件に合わせて幅広いインジウム製品を提供しています。リーズナブルな価格で今すぐ注文してください!

傾斜回転プラズマ化学蒸着 (PECVD) 管状炉装置

傾斜回転プラズマ化学蒸着 (PECVD) 管状炉装置

精密な薄膜成膜を実現する傾斜回転式PECVD炉を紹介します。自動マッチングソース、PID プログラマブル温度制御、高精度 MFC 質量流量計制御をお楽しみください。安全機能を内蔵しているので安心です。

真空誘導溶解紡糸装置 アーク溶解炉

真空誘導溶解紡糸装置 アーク溶解炉

当社の真空溶融紡糸システムを使用して、準安定材料を簡単に開発します。アモルファスおよび微結晶材料の研究および実験作業に最適です。効果的な結果を得るには今すぐ注文してください。

高純度二酸化ケイ素(SiO2)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

高純度二酸化ケイ素(SiO2)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

研究室用の二酸化ケイ素材料をお探しですか?当社の専門的にカスタマイズされた SiO2 材料には、さまざまな純度、形状、サイズがあります。今すぐ当社の幅広い仕様をご覧ください。

真空加圧焼結炉

真空加圧焼結炉

真空加圧焼結炉は、金属およびセラミック焼結における高温ホットプレス用途向けに設計されています。その高度な機能により、正確な温度制御、信頼性の高い圧力維持、シームレスな操作のための堅牢な設計が保証されます。

炭化ケイ素(SiC)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

炭化ケイ素(SiC)スパッタリングターゲット/粉末/ワイヤー/ブロック/顆粒

研究室用の高品質の炭化ケイ素 (SiC) 材料をお探しですか?これ以上探さない!当社の専門家チームは、お客様の正確なニーズに合わせて SiC 材料をリーズナブルな価格で製造および調整します。当社のスパッタリング ターゲット、コーティング、パウダーなどの製品ラインナップを今すぐご覧ください。

CVDダイヤモンドコーティング

CVDダイヤモンドコーティング

CVD ダイヤモンドコーティング: 切削工具、摩擦、音響用途向けの優れた熱伝導性、結晶品質、接着力

半球底タングステン・モリブデン蒸着ボート

半球底タングステン・モリブデン蒸着ボート

金めっき、銀めっき、白金、パラジウムに使用され、少量の薄膜材料に適しています。フィルム材料の無駄を削減し、放熱を低減します。


メッセージを残す