真空システムにおけるリークの重要性をまとめると以下のようになります：
1.オペレーターと製品の安全性：真空システム内の漏れは、有毒ガスや液体の発生につながり、オペレーターの安全性にリスクをもたらす可能性がある。また、システム内に空気が侵入し、爆発性混合物の形成につながる可能性もあります。真空システムの気密性を確保することは、安全な作業環境を維持し、処理される製品の完全性を守るために極めて重要です。
2.圧力／真空のメンテナンス：真空システムの漏れは、圧力の大幅な上昇や真空レベルの低下を引き起こす可能性があります。わずかな空気漏れや水漏れでも、真空ポンプに負担をかけ、望ましい圧力／真空状態を損なう可能性があります。接合部、溶接部、シール、バルブ、ポンプ、容器そのものを含む真空システム全体に適切な注意を払い、漏れを検出して対処する必要がある。
3.メンテナンスへの影響：メンテナンス作業を行う際には、真空システムの完全性への影響を考慮しなければならない。許容できないリーク率のトラブルシューティングでは、多くの場合、最後に行われたメンテナンスまで問題を遡る必要があります。シール、ブレーズジョイント、その他の領域でのリークは、適切な運転真空レベルを維持する能力と最終製品の品質に悪影響を及ぼす可能性がある。さらに、リークを発見し修正することは、時間のかかる細心のプロセスです。
4.予防保全：過去の漏れを記録し、応急処置として使用された一時的なシーリング材を交換することは、優れた予防メンテナンスプログラムにとって不可欠である。これにより、将来の問題を最小限に抑え、真空システムの長期的な有効性を確保することができる。
5.リーク率テスト：真空計の読みは真空炉内の実際の状態を必ずしも正確に示すとは限りません。同じ炉を同じ圧力で運転しても、リーク気密性やリーク率の違いによって熱処理結果が異なることがあります。炉メーカーが規定するリーク率チェックを定期的に実施することで、エアリークによる問題を防止し、一貫した望ましい熱処理結果を得ることができます。
6.超高真空への配慮：超高真空システムでは、奇妙なリーク経路やアウトガスの発生源など、さらなる要因を考慮する必要がある。特定の材料の吸水性、金属の吸着性、オイルやグリースの沸騰、真空チャンバー壁の多孔性、金属フランジの結晶粒方向などがその例である。これらの考慮は、望ましい真空レベルを維持し、性能の問題を防ぐために必要である。
7.真空チャンバーの寸法測定真空チャンバー内の半導体デバイスの性能は、真空度に直接影響される。空気漏れは、成膜、エッチング、スパッタリングなどに必要な化学反応を妨げ、プロセスの失敗につながる。リークを防ぐには、端面やシール面の平坦性の確保、気密性のテスト、不活性ガスによるパージなど、入念な対策が重要です。気密性の高い真空チャンバーの実現には、製造時の形状や寸法の厳密な測定が重要な役割を果たします。
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