真空システムにおける漏れは、操作のさまざまな側面に重大な影響を及ぼす可能性のある重要な問題です。
真空システムにおけるリークについて考慮すべき7つのポイント
1.オペレーターと製品の安全性
真空システムのリークは、有毒ガスや液体を放出し、オペレーターの安全性にリスクをもたらす可能性があります。
また、システム内に空気が入り込み、爆発性の混合物を形成する可能性もあります。
真空システムの漏れを確実に防ぐことは、安全な作業環境を維持し、処理される製品の完全性を守るために不可欠です。
2.圧力／真空のメンテナンス
真空システムのリークは、圧力の大幅な上昇や真空レベルの低下を引き起こす可能性があります。
わずかな空気漏れや水漏れでも、真空ポンプに負担をかけ、望ましい圧力／真空状態を損なう可能性があります。
接合部、溶接部、シール、バルブ、ポンプ、容器そのものを含む真空システム全体に適切な注意を払い、漏れを検出して対処する必要がある。
3.メンテナンスの影響
メンテナンス作業を行う際には、真空システムの完全性への影響を考慮しなければならない。
許容できないリーク率のトラブルシューティングは、多くの場合、最後に行われたメンテナンスまで問題を遡ることになる。
シール、ブレーズジョイント、その他の領域でのリークは、適切な運転真空レベルを維持する能力と最終製品の品質に悪影響を及ぼす可能性がある。
加えて、リークを発見し修正することは、時間のかかる綿密なプロセスである。
4.予防メンテナンス
過去のリークを記録し、応急処置として使用された一時的なシーリング材を交換することは、優れた予防保全プログラムに不可欠です。
これにより、将来の問題を最小限に抑え、真空システムの長期的な有効性を確保することができます。
5.リーク率テスト
真空計の測定値は、真空炉内の実際の状態を必ずしも正確に示しているとは限りません。
同じ炉を同じ圧力で運転しても、リーク密 度やリーク率の違いによって熱処理結果が異なることがあります。
炉メーカーが規定するリーク率チェックを定期的に実施することで、エアリークによる問題を防止し、一貫した望ましい熱処理結果を得ることができます。
6.超高真空に関する考察
超高真空システムでは、異様なリーク経路やアウトガス発生源などの追加要因を考慮する必要があります。
特定の材料の吸水性、金属の吸着性、オイルやグリスの沸騰、真空チャンバー壁の多孔性、金属フランジの結晶粒方向などがその例である。
所望の真空レベルを維持し、性能の問題を防ぐためには、このような配慮が必要である。
7.真空チャンバーの寸法測定
真空チャンバー内の半導体デバイスの性能は、真空レベルに直接影響される。
エア漏れは、蒸着、エッチング、スパッタリング、その他のプロセスに必要な化学反応を妨げ、プロセスの失敗につながります。
リークを防ぐには、端面やシール面の平坦性の確保、気密性のテスト、不活性ガスによるパージなど、入念な対策が重要です。
気密性の高い真空チャンバーの実現には、製造時の形状や寸法の厳密な測定が重要な役割を果たします。
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