薄膜コーティングと厚膜コーティングの主な違いは、その厚みと得られる特性にある。薄膜は一般的に数ナノメートルから数マイクロメートルの厚さであり、厚膜は一般的に薄膜よりも厚い。この膜厚の違いは、コーティングの挙動や用途に大きく影響する。
膜厚と挙動：
薄膜はその厚みが小さいため、バルク材料とは異なる挙動を示し、物理的、化学的、機械的特性に影響を与える。例えば、TiO2、SiO2、Ta2O5のような材料は、100nm前後の厚みで、バルク材料とは異なる薄膜特性を示す。しかし、同じ厚さのアルミニウム薄膜はバルク材料に近い挙動を示すことから、同じような厚さの材料すべてが薄膜特性を示すわけではないことがわかる。この違いは、特定の用途におけるコーティングの有用性を判断する上で極めて重要である。特性と用途
薄膜コーティングは、基材の性能を向上させるユニークな特性で評価されている。透明で耐久性があり、電気伝導性や信号伝達を変えることができる。例えば、クロム膜は自動車部品に硬い金属膜を形成するのに使われ、材料の使用量を節約しながら紫外線から保護している。薄膜はまた、数ミクロンの厚さのコーティングが必要とされる半導体やその他さまざまな産業において不可欠なものである。薄膜は基材の表面相互作用を変化させ、バルク材料では得られない機能性を提供する。
成膜方法
