知識 物理的気相成長とは何か?(4つのステップ)
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技術チーム · Kintek Solution

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物理的気相成長とは何か?(4つのステップ)

PVD(Physical Vapor Deposition)とは、原料を気体にして薄膜を作る方法である。このガスを表面に蒸着させ、特殊な特性を持つ薄膜を形成します。

物理蒸着における4つの主要ステップ

物理的気相成長とは何か?(4つのステップ)

1.めっき材料のガス化

PVDの最初のステップは、ソース材料を蒸気に変えることである。これには、材料が沸騰するまで加熱する方法(蒸発法)、高エネルギー粒子を使用してターゲットから原子を叩き落とす方法(スパッタリング法)、アークプラズマを使用して蒸気を発生させる方法がある。

2.蒸気の輸送

材料が蒸気になると、発生源から膜が形成される表面へと移動する。この移動は、他の気体分子が邪魔にならないように、低圧領域、通常は真空の中で行われる。

3.基板上での凝縮

その後、蒸気は材料(基板)の表面で固体に戻り、薄膜を形成する。このプロセスを助けるために、基板を加熱または冷却することができる。蒸気が他のガスと反応し、膜の性質が変わることもある。

4.幅広い用途

PVDは、非常に特殊な特性を持つ薄膜を作ることができるため、エレクトロニクス、光学、医療など多くの産業で使用されている。また、環境にも優しく、非常に丈夫で耐性のあるコーティングを作ることができます。

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