SEM用の金コーティングは、主に非導電性の試料を導電性にして帯電を防ぎ、得られる画像の質を高めるために使用されます。これは、通常2～20 nmの厚さの薄い金層を試料表面に塗布することで実現します。
帯電効果の防止：
非導電性材料は、走査型電子顕微鏡（SEM）で電子ビームに曝されると、静電場が蓄積され、帯電効果が生じます。これらの影響は画像を歪ませ、材料の著しい劣化を引き起こす可能性があります。試料を良導電体である金でコーティングすることにより、電荷は放散され、試料は電子ビーム下で安定した状態を維持し、画像の収差を防ぐことができます。画質の向上
金コーティングは帯電を防ぐだけでなく、SEM画像のS/N比を大幅に向上させます。金は二次電子収率が高く、非導電性材料と比較して、電子ビームが当たったときに多くの二次電子を放出します。この放出量の増加により信号が強くなり、特に低倍率および中倍率において、より鮮明で詳細な画像が得られます。
応用と考察
金は仕事関数が小さく、コーティングに効率的であるため、標準的なSEM用途に広く使用されている。特に卓上型SEMに適しており、試料表面を大幅に加熱することなくコーティングできるため、試料の完全性が保たれます。エネルギー分散型X線（EDX）分析が必要な試料の場合、試料の組成を阻害しないコーティング材料を選択することが重要である。
技術と装置
