知識 グラフェンの成長技術とは?(5つの主要手法を解説)
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技術チーム · Kintek Solution

更新しました 1 month ago

グラフェンの成長技術とは?(5つの主要手法を解説)

炭素原子が六角形格子に配列した単層構造であるグラフェンは、その驚くべき特性から大きな注目を集めている。

この特性を利用するために、グラフェンの成長にはさまざまな技術が開発されてきた。

ここでは、グラフェンの製造に使用される5つの主要な方法を紹介する。

グラフェンの成長技術とは?(5つの主要な方法)

グラフェンの成長技術とは?(5つの主要手法を解説)

1.化学気相成長法(CVD)

化学気相成長法(CVD) は、高品質の単層グラフェンを大面積で製造するための最も有望な方法の一つである。

CVDでは、炭化水素ガス源を使用する。

成長は、炭素の溶解度が高い金属基板(Niなど)中の炭素の拡散と偏析、あるいは炭素の溶解度が低い金属(Cuなど)中の表面吸着によって起こる。

特定のCVD技術であるベーパートラッピング法では、大小の石英管を使用し、CH4/H2を大管に飛ばし、Cu箔を小管に装填する。

この方法では、準安定的な反応ガス分布を作り出し、炭素供給を減らすことで、大粒径のグラフェンフラワーを成長させることができる。

2.液相剥離法

液相剥離 液相剥離は、溶媒中でエネルギーを用いてバルクのグラファイトを剥離することを含む。

通常、n-メチル-2-ピロリドン(NMP)のような非水溶媒や、界面活性剤を含む水溶液が使用される。

剥離のためのエネルギーは、超音波ホーンソニケーションや高せん断力から得ることができる。

この方法は大量生産に適しているが、一般にCVDと比較して電気的品質は低くなる。

3.炭化ケイ素(SiC)の昇華

炭化ケイ素(SiC)の昇華 超高真空中でSiC基板を熱分解し、汚染を最小限に抑える方法。

表面の余分な炭素が再配列して六角格子を形成し、エピタキシャルグラフェンが得られる。

しかし、この方法はコストが高く、大量生産には大量のSiが必要である。

4.非金属基板上への直接成長

非金属基板上への直接成長 は、非金属表面上にグラフェンを直接成長させる方法であるが、非金属表面は金属表面に比べて触媒活性が弱い。

この欠点は、高温、金属アシスト触媒反応、プラズマエンハンスド CVD などによって補うことができる。

この方法で製造されるグラフェンの品質はそれほど高くないが、将来の産業応用の可能性を秘めた方法と考えられている。

5.2Dハイブリッド

2Dハイブリッド 2Dハイブリッドとは、グラフェンを他の2D材料とハイブリッド化し、技術的応用を向上させることである。

例えば、六方晶窒化ホウ素(h-BN)膜を基板として使用することで、グラフェンFETの電流電圧特性を向上させることができる。

これらのハイブリッドは、レイヤーバイレイヤーで材料を積層する方法と、直接成長させる方法があるが、後者の方がスケーラビリティが高く、汚染も少ない。

これらの方法にはそれぞれ利点と課題があるが、CVDは比較的費用対効果が高く、拡張性があるため、高品質で大面積のグラフェン製造に最も広く用いられている。

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