PVDコーティングには、主に熱蒸着、スパッタ蒸着、アーク蒸着の3種類がある。これらの各プロセスは、基板上に材料の薄膜を蒸着するために使用され、機能的および装飾的な利点を提供します。
熱蒸着:このプロセスでは、蒸着する材料を蒸気になるまで加熱し、基板上で凝縮させて薄膜を形成する。この方法は、融点の低い材料の蒸着に特に有効で、エレクトロニクス業界で薄膜デバイスの作成によく使用されています。
スパッタ蒸着:この方法では、高エネルギー粒子とターゲット間の運動量移動によって、ターゲット材料(蒸着される材料)から原子が物理的に放出される。放出された原子は基板上に凝縮する。スパッタ蒸着は汎用性が高く、金属、合金、セラミックなど幅広い材料に使用できる。密着性に優れ、緻密な膜を形成できることで知られている。
アーク蒸着:これはPVDのより高度な形態で、高出力アークを使用してターゲット材料を蒸発させる。この技法は高度にイオン化された蒸気の流れを作り出し、優れた密着性と高品質なコーティングを実現します。アーク蒸着は、切削工具や耐摩耗性コーティングに使用される窒化チタンのような硬質材料の蒸着に特に効果的です。
これらのPVDコーティングプロセスは、さらに機能性コーティングと装飾性コーティングに分類することができる:
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機能性コーティング:機能性コーティング:工具や部品の性能と寿命を向上させるために設計されています。例えば、窒化チタン(TiN)コーティングは、一般的に高速度鋼(HSS)エンドミルに適用され、硬度と耐摩耗性を向上させることにより、切削性能を向上させ、寿命を延ばします。
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装飾コーティング:これらのコーティングは、主に部品の美的外観を向上させるために使用され、同時にある程度の耐摩耗性も提供します。例えば、Zrベースの膜をステンレス鋼のドアハンドルに蒸着することで、実際の真鍮よりも耐久性と耐変色性を向上させ、真鍮のような色を実現することができる。
PVDコーティングは、表面の粗さを変えたり不完全な部分を隠したりすることなく、表面のトポロジーに忠実に追従する能力で知られています。PVDコーティングは、金属、プラスチック、ガラスなど、さまざまな基材に施すことができます。さらに、PVDコーティングは、基材を損傷することなくコーティング層をターゲットとする特定の脱コーティングプロセスを使用して除去することができます。
全体として、PVDコーティングは、良好な接着性、可変層構造、他の層と組み合わせて性能を向上させる能力など、さまざまな利点を提供します。高精度、耐久性、美観を必要とする用途に適しています。
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