CNT(カーボンナノチューブ)の危険性はいくつかの側面に分類することができます:
1.肺への暴露:CNTの吸入は肺の炎症につながる可能性があり、肺線維症や癌の発生に関連している。つまり、CNTを吸入すると呼吸器系に有害な影響を及ぼす可能性がある。
2.有毒なガス状前駆体:CNTを成長させるための化学気相成長(CVD)プロセスでは、Cu(acac)2、B2H6、Ni(CO)4のような特定のガス状前駆体が使用されることがある。これらの前駆物質は毒性、腐食性、爆発性がある。注意深く取り扱ったり配送したりしなければ、環境やそれらにさらされる人々の健康にリスクをもたらす可能性がある。
3.有毒なガス状副産物:CVDプロセスでは、HF、H2、COなどのガス状副生成物が発生することがあります。これらの副生成物は非常に有毒であり、環境や個人への危害を防ぐため、真空チャンバーから放出される際には適切に処理する必要があります。
4.高温コーティング:CVDプロセスは、非常に高い温度で薄膜コーティングを成膜する。しかし、基材によっては熱安定性が悪く、高温に耐えられない場合がある。そのような材料を使用すると、CVDプロセスに不具合が生じ、潜在的に危険な状況に陥る可能性があります。
CVDには、基板上に均一な厚みを形成できるなどの利点がある一方で、CVDプロセスで作業する人々の安全を確保するための予防措置を講じる必要があることに留意すべきである。CVDにおける有毒な前駆物質や副生成物に関連するリスクを最小限に抑えるためには、標準作業手順(SOP)に従うことが必要である。
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