炭化ケイ素（SiC）は優れた電気絶縁体ではない。
実際、ある種の炭化ケイ素、特に化学気相成長法（CVD）で製造された炭化ケイ素は電気抵抗が低く、電気を適度に通す。
この特性は、バルク抵抗率が0.1Ω・cm未満の「低抵抗CVD炭化ケイ素」で特に顕著です。
理解すべき5つのポイント
1.SiCの電気伝導率の説明
炭化ケイ素の電気伝導率は、その製造方法と加工条件によって左右される。
特にCVD炭化ケイ素は、電気抵抗が1Ωcm程度と非常に低くなるように設計することができ、絶縁体ではなく導体に分類されます。
この低抵抗は、成膜プロセスの高純度かつ精密な制御によるもので、電子の流れを妨げる欠陥や不純物の少ない材料を作ることができる。
2.SiCの導電性から恩恵を受けるアプリケーション
CVD炭化ケイ素の導電特性は、半導体産業におけるさまざまな用途を開拓する。
サセプター、プロセスチャンバー、ガス分配プレート、静電チャックなど、導電性が重要な部品に使用されています。
さらに、電気を通す性質があるため、精密部品の製造に放電加工（EDM）法を使用することができ、特に小さな高アスペクト比の穴を開けるのに有効である。
3.一般的なSiC特性との対比
CVD炭化ケイ素は導電性を示すが、すべての炭化ケイ素が導電性を示すわけではないことに注意することが重要である。
一般的な炭化ケイ素、特に焼結型や反応結合型は、純度や微細構造によっては絶縁性を持つ場合がある。
また、高温の空気中でSiC上に形成される保護酸化ケイ素層は、絶縁特性を高めることがある。
4.結論
要約すると、炭化ケイ素、特にCVD変種は、電気抵抗が低いため、電気絶縁体としては優れていない。
この特性は、導電性、耐摩耗性、耐熱衝撃性を必要とする用途、特に半導体製造業界において、炭化ケイ素を貴重な材料にしている。
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