真空炉の漏れを検査することは、炉が適切に機能し、生産が中断するのを防ぐために極めて重要です。
真空炉のリークを検出するにはいくつかの方法があります。
5つの方法の説明
1.音の検出
一つの方法は、リークから発せられる音を聞くことです。
ヒスノイズや口笛のような音は漏れの存在を示すことがあります。
2.真空減衰
もう一つの方法は、溶剤を使って漏れに浸透させ、真空計の真空度の減衰を観察することである。
漏れがある場合、真空レベルは低下する。
3.ヘリウムリークディテクター
質量分析計のようなヘリウムリークディテクターの使用は、リークを検出するための高感度な方法である。
炉内にヘリウムガスを導入し、リークがあるとヘリウムが抜けてリークディテクターで検出できる。
4.リーク率テスト
リーク率テストを行うには、ファーネスをイオンゲージで3 x 10-5 torrのような高真空レベルまでポンプダウンする必要があります。
真空TCゲージの真空レベルの読み取り値を記録する。
真空チャンバーをポンプから隔離した後、15分後に真空TCゲージの真空レベルを再度記録する。
最初の真空度と15分後の真空度の差を4倍して、真空チャンバーの1時間当たりのリーク率を計算する。
リーク率の許容基準は仕様によって異なりますが、ほとんどの用途では一般に20ミクロン/時間のリーク率が許容されます。
しかし、十分に密閉された炉であれば、リーク率5ミクロン/時未満、中には1ミクロン/時未満を達成するものもある。
5.予防保全
真空炉のリークを防ぐには、包括的な予防保全プログラムが不可欠です。
これには、ポンプ、Oリング、フランジシール面の適切な手入れ、および真空フィードスルーの定期的な点検が含まれます。
処理中の真空レベルを継続的に監視することで、潜在的な問題が大きな修理になる前に特定することもできます。
専門家にご相談ください。
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