真空炉のリーク検査にはいくつかの方法があります：
1.音の検知：一つの方法は、漏水から発せられる音を聞くことである。ヒスノイズや口笛のような音は、漏水の存在を示す可能性がある。
2.真空減衰：もう一つの方法は、溶剤を使ってリーク部分に浸透させ、真空計の真空度の減衰を観察することである。漏れがある場合、真空レベルは低下する。
3.ヘリウムリーク検知器：質量分析計のようなヘリウムリーク検出器の使用は、リークを検出するための高感度な方法である。ヘリウムガスは炉内に導入され、漏れがあればヘリウムは逃げ、リークディテクターによって検出される。
真空炉でリークが検出された場合、そのリークを修理するまでは生産に使用しないことが重要である。一般的な方法としては、チャンバーを大気に開放せずに窒素で炉を埋め戻すことです。熱電対フィッティングやその他の真空フィー ドスルーをすべて締め付ける。その後、炉のリーク率を再試験する。2回目のリーク率テストが不合格の場合は、ヘリウムリークチェックを含むより大がかりなメンテナンスが必要であることを示している。
真空炉のリークを防ぐには、包括的な予防保全プログラムが不可欠です。これにはポンプ、Oリング、フランジシール面の適切な手入れ、真空フィードスルーの定期的な点検が含まれます。また、処理中の真空レベルを継続的に監視することで、大きな修理になる前に潜在的な問題を特定することができます。
リーク率テストを行うには、ファーネスをイオンゲージで3 x 10-5 torrのような高真空レベルまでポンプダウンする必要があります。真空TCゲージの真空レベルを記録する。真空チャンバーをポンプから隔離した後、15分後に真空TCゲージの真空レベルを再度記録する。最初の真空度と15分後の真空度の差を4倍して、真空チャンバーの1時間当たりのリーク率を計算する。リーク率の許容基準は仕様によって異なりますが、ほとんどの用途では一般に20ミクロン/時間のリーク率が許容されます。しかし、十分に密閉された炉であれば、リーク率は5ミクロン/時未満、中には1ミクロン/時未満を達成するものもある。
要約すると、真空炉のリークテストは、音による検知、真空減衰、ヘリウムリーク検知器の使用によって行うことができる。定期的な予防メンテナンスと真空レベルの監視は、リークによるダウンタイムを最小限に抑えるために重要です。
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