真空炉内の漏れをどのようにテストしますか?最適なパフォーマンスを実現するための重要な手順

内部の漏れのテスト真空炉最適なパフォーマンスと安全性を確保するための重要なメンテナンス作業です。このプロセスでは、目視検査、圧力テスト、および漏れを特定して対処するための特殊な技術を組み合わせます。一般的な方法には、リーク検出器の使用、ヘリウムガステスト、真空レベルの監視などが含まれます。検査が必要な主な領域には、バルブ、シール、熱電対、炉のドアなどがあります。炉の完全性と効率を維持するには、定期的なメンテナンスと摩耗したコンポーネントの適時の交換が不可欠です。

重要なポイントの説明:

真空炉内の漏れをどのようにテストしますか?最適なパフォーマンスを実現するための重要な手順

リークディテクタの使用:
- リークディテクタは、特に真空計保護バルブなどの重要なポイントでのガス漏れを特定するために不可欠です。
- 漏れが検出された場合は、さらなる問題を防ぐために、影響を受けたバルブまたはコンポーネントを直ちに交換する必要があります。
ベアリングとシールの検査:
- 機械的故障を避けるために、特に可動部品のベアリングの摩耗を確認し、ひどく摩耗したベアリングは交換してください。
- メインバルブステム、予備抽出バルブ、ブリーダーバルブ、空気圧ボールバルブ、炉ドアのシールを含むすべてのシールを検査します。
- 劣化や亀裂が生じたシールリングを高温に強いフッ素ゴム素材に交換し、確実なシールを実現します。
熱電対リークテスト:
- ビニール袋とヘリウムガスを使用した特殊な方法を使用して、熱電対の金属ヘッドの漏れをテストします。
- 漏れが見つかった場合は、正確な温度測定値を維持し、真空損失を防ぐために熱電対を交換してください。
リーク率試験:
- 炉を高真空 (例: 1 x 10^-4 torr 以上) まで排気して、リーク率テストを実行します。
- ポンプシステムを隔離し、30 分後および 60 分後の真空レベルを記録します。
- 漏れ率を計算し、それを合格基準と比較します。 20 ミクロン/時間の漏れ速度は一般に許容されますが、より密閉された炉では 1 ミクロン/時間未満に達する可能性があります。
正圧漏れ検出:
- 分析装置を使用して残留酸素レベルを測定します。突然の増加は、炉シェルまたは循環パイプ内の漏れを示している可能性があります。
- 水素レベルが 3% 以上であることを確認し、携帯型水素検出器を使用して、疑わしいエリアの気密性を確認します。
異常真空現象への対応:
- 真空源と圧縮空気の圧力をチェックして、それらが正しく機能していることを確認してください。
- 真空計と炉のドアが適切に動作しているか、損傷、または汚染がないかを検査します。
- パイプライン、空気圧バルブ、熱電対の入口に問題がないか調べます。損傷した領域をAB接着剤で再シールします。
一時的および恒久的な漏れ修理:
- 炉の稼働中の一時的な修理には高温シーラントを使用してください。
- 炉を停止したら、割れた部分の溶接、劣化したガスケットやスナップリングの交換、緩んだネジの増し締めなどの完全な処理を行ってください。
シャットダウン手順:
- 真空プロセスが完了したら、分子ポンプスイッチ、循環水スイッチ、外部循環水バルブ、主電源ゲートを順に閉じ、安全に停止してください。

これらの手順に従うことで、真空炉内の漏れを効果的に特定して対処し、炉の寿命と最適なパフォーマンスを保証できます。定期的なメンテナンスと適時の修理は、コストのかかるダウンタイムを防ぎ、安全な作業環境を維持するための鍵となります。

概要表:

方法	主要なステップ
リークディテクタ	重要なポイントでのガス漏れを特定します。影響を受けたバルブまたはコンポーネントを直ちに交換してください。
ベアリング/シールの検査	摩耗がないかチェックしてください。磨耗したベアリングと劣化したシールを高温耐性のある材料に交換します。
熱電対リークテスト	ヘリウムガスとビニール袋を使用して漏れをテストします。漏れが検出された場合は熱電対を交換してください。
リーク率試験	炉を高真空にポンプします。漏れ率を記録して計算します。合格基準と比較してください。
正圧検出	残留酸素レベルを測定します。水素検知器で気密性を確認してください。
異常真空現象	真空源、ゲージ、ドアを点検します。損傷した領域をAB接着剤で再シールします。
一時的/恒久的な修理	一時的な固定には高温シーラントを使用してください。シャットダウン中に完全な修復を実行します。
シャットダウン手順	分子ポンプ、循環水、電源を順次閉じて安全に停止してください。