PVD窒化チタン・コーティングは通常、400～500℃の温度で行われる。
PVDプロセスは、高温の代わりにイオン衝撃を駆動力としている。
コーティングされる基板は真空チャンバー内に置かれ、温度まで加熱される。
チタンコーティング材料は気化され、N2などの反応性ガスが導入されイオン化されます。
気化したチタン原子はイオン化した窒素と反応してTiN化合物を形成し、これが基板上に堆積してコーティングを形成する。
CVDプロセスと比較して、PVDプロセスははるかに低い温度で動作します。
CVDの処理温度は通常850～1100℃（1550～2000ºF）です。
PVDコーティングは、焼戻し温度が高い鋼材に適しています。
PVDコーティングは、厚さが約3～5μmと薄く、処理温度が約500℃と低い。
このため、PVDコーティングはより幅広い基材や用途、特に高温域に敏感な基材に適している。
また、PVDコーティングは、ほとんどの材料において、公差を維持し、歪みを最小限に抑えるという利点がある。
一方、CVDコーティングは耐熱性が要求され、加工温度が800～1000℃と高いため、超硬合金などの硬質合金に使用されます。
PVDとCVD TiNコーティングのどちらを選択するかは、部品の最終使用温度によって決まる。
使用温度が高いほどCVDコーティングの方が望ましいかもしれませんが、PVDコーティングの方が汎用性が高く、より幅広い基材や用途に適しています。
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