XRF(蛍光X線)分析は、固体試料、粉末試料、液体を含むさまざまな材料の分析に使用されます。固体試料には通常、金属、合金、金属スクラップが含まれ、粉末試料には土壌、鉱石、自己触媒のような粉砕された不均一な物質が含まれることが多い。液体試料には、石油製品などが含まれます。
固体試料
固体試料は、測定に平らできれいな表面を必要とします。これらのサンプルの前処理は比較的簡単で、表面が分析に適していることを確認することに重点を置きます。これらのサンプルの分析には、蛍光X線分析装置が使用されます。分光器は試料にX線を照射し、原子が反応して二次X線を放出させます。これらの二次X線を検出して処理し、試料中のさまざまな元素の存在と量を示すスペクトルを生成します。粉末試料
土壌や鉱石などの粉末試料は、多くの場合、均質性を確保するために材料を粉砕して調製されます。蛍光X線分析用にこれらの試料を調製する一般的な方法の1つは、プレスしたペレットを作ることです。この方法は、その効率性、費用対効果、および高品質な結果のために好まれています。このペレットは、XRF分光法を用いて分析され、試料にX線を照射し、その結果生じる蛍光放射を測定して元素組成を決定する。
液体試料