プラズマ炉の温度はその用途によって大きく異なり、プラズマ窒化では約1400°F (750°C)の低温から、プラズマ浸炭では最高2400°F (1100°C)の高温まであります。一部のプラズマ炉、特に電気冶金で使用されるプラズマ炉はさらに高温で作動し、最高温度は2650°F (1454°C) に達します。
低温プラズマ炉
低温プラズマ炉は通常プラズマ窒化に使用され、運転温度は約 750°C (1400°F) です。この炉は処理される金属部品の酸化を防ぐように設計されています。冷壁炉または熱壁炉があり、前者は炉壁を冷却しながら内部温度を維持する水冷式二重壁を備えています。高温プラズマ炉
プラズマ浸炭のような用途には、最高温度1100°C (2400°F) の高温炉が使用されます。これらの高温炉は通常、水冷式二重壁を備えたコールドウォール設計で、熱処理後の急速冷却のために高圧ガスクエンチシステムまたは一体型オイルクエンチタンクを装備することができます。
プラズマアーク炉
電気冶金では、プラズマアーク炉は通常電気アークヒーター (プラズマトロン) によって生成されるプラズマ流を利用して物質を溶解します。プラズマアーク炉は、プラズマトロンの電気的条件を変化させることで連続的な温度調節を可能にし、精密な温度制御を可能にします。これらの炉の温度は最高2650°F (1454°C)に達することがあり、高温を必要とするプロセスや炉のホットゾーンの長寿命維持には極めて重要です。温度均一性:
安定した結果を得るためには、炉室全体の温度均一性が重要です。例えば、AMS 2750D 規格に準拠する炉もあり、炉内の温度変化が特定の範囲 (温度範囲により +/- 20°F から +/- 10°F) に収まることを保証します。