物理的気相成長（PVD）スパッタリングプロセスは、導電性材料上に金属または合金の薄膜コーティングを成膜するために使用される技術です。高真空の真空チャンバー内で、カソードアークソースを用いて行われる。プロセスには以下のステップが含まれる：
1. 蒸発： ターゲット材料（通常は固体または液体）に、電子ビームやイオンビームなどの高エネルギー源を照射する。これにより、ターゲット表面から原子が離脱し、気化する。
2. 輸送： 気化した原子は、ターゲットから基材またはコーティングされる材料へと移動する。これは拡散や移流など、さまざまなメカニズムによって起こる。
3. 反応： 気化した原子が基材に到達すると、凝縮プロセスを経る。原子は蒸気状態から固体状態に相変化し、基材表面に薄膜を形成する。
4. 蒸着： 凝縮した原子は基板表面に付着し、密着性の高い純金属または合金の被膜を形成する。薄膜の厚さは、蒸着時間やその他のプロセスパラメーターを調整することで制御できる。
スパッタリングは物理的気相成長法（PVD）の一種で、高エネルギーの粒子砲撃によってターゲット材料から原子や分子を放出させる方法である。スパッタリング・プロセスでは、ターゲット材料に高エネルギー粒子（通常はイオン）を衝突させ、ターゲット表面から原子または分子を放出させる。放出された原子や分子は基板表面に凝縮し、薄膜を形成する。
スパッタリングは、VLSI製造におけるウェハー上の金属膜の成膜など、さまざまな用途で広く使われるようになっている。スパッタリングでは、膜厚、均一性、組成を精密に制御することができる。スパッタリングによって成膜される一般的な材料には、アルミニウム、白金、金、タングステンなどがある。
全体として、PVDスパッタリングは、基板上に金属や合金の薄膜を成膜するための汎用性の高い技術であり、広く利用されている。高純度、良好な密着性、膜特性の制御といった利点がある。
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