化学における蒸着とは、固体表面に物質の薄いまたは厚い層を作るプロセスのことである。これは原子ごと、あるいは分子ごとに行われる。その結果、使用目的に応じて表面の特性を変えるコーティングができる。
化学における蒸着とは？プロセスを理解するための5つの主要ステップ
1.揮発性化合物の蒸発
析出させる物質をまず気体にする。これは通常、気化するまで化合物を加熱することによって行われる。
2.熱分解または化学反応
その後、気体は原子や分子に分解される。また、基板表面の他の気体、蒸気、液体と反応することもある。この段階は、適切な化学組成のフィルムを形成するために重要である。
3.不揮発性反応生成物の堆積
これらの化学反応生成物は不揮発性であり、次に基板上に堆積する。これにより、表面に薄膜またはコーティングが形成される。
4.望ましい化学組成の形成
成膜中に起こる化学反応は、望ましい皮膜組成を形成するために極めて重要である。これにより、塗膜がその用途に適した特性を持つようになる。
5.副生成物と未反応前駆体の除去
成膜後、副生成物や未反応物は反応室から除去されます。これにより、プロセスがクリーンで効率的に保たれます。
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