化学蒸着とは、気体が液体状態を経ることなく直接固体に変化するプロセスを指します。化学析出の例は自然界にも工業プロセスにもいくつかある。
自然界における化学析出の一例は、地面にできる霜である。気温が氷点下になると、空気中の水蒸気が直接、草や葉、窓などの表面で氷の結晶に変化する。
自然界における化学的沈着のもう1つの例は、大気圏の上空で巻雲が形成されることである。空気中の水蒸気が直接凝縮して氷の結晶となり、薄くうっすらとした雲が形成される。
工業プロセスでは、化学気相成長法（CVD）は高品質の薄膜やコーティングを製造するために用いられる一般的な方法である。CVDでは、ガス状の反応物質が反応室に運ばれ、加熱された基板表面で分解する。この分解により化学副生成物が生成され、目的の材料が基板上に堆積する。
CVD技術にはさまざまな種類がある。一例として、直接液体注入法があり、液体プリカーサーを加熱チャンバーに注入して気化させる。この方法は、例えば自動車の燃料噴射システムに用いられ、燃料を燃焼室に噴射して気化させ、空気や火花と混合して自動車の動力を生み出す。
CVDのもうひとつの例は、熱の代わりにプラズマを用いるプラズマ・ベースの方法である。プラズマは高度にイオン化した気体で、化学反応や成膜プロセスを促進することができる。
CVDを使って成膜される一般的な材料には、カーボンナノチューブ、ZnOやTiO2のような金属酸化物、SnO2のような化合物などがある。これらの材料は、太陽電池やディスプレイの透明導電体など、さまざまな用途がある。
全体として、化学蒸着は自然界に存在する汎用性の高いプロセスであり、高品質の薄膜やコーティングを製造するために、さまざまな産業用途で利用されている。
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