電子ビーム蒸着は、特に薄くて高密度のコーティングを必要とする用途や高融点の材料を使用する用途において、熱蒸着と比較していくつかの利点があります。
熱蒸発を超える電子ビーム蒸発の7つの主な利点
1.高い蒸着速度
電子ビーム蒸着は、0.1μm/minから100μm/minの蒸着速度を達成することができ、これは熱蒸着よりも大幅に速い。
2.高純度フィルム
電子ビームはソース材料のみに集中するため、るつぼからのコンタミネーションのリスクを最小限に抑えることができる。その結果、非常に純度の高い膜が得られる。
3.優れた均一性
マスクやプラネタリーシステムを使用する場合、電子ビーム蒸着は基板全体にわたって優れた均一性を提供します。
4.幅広い材料への適合性
高温の金属や金属酸化物など、様々な材料に対応できます。
5.多層蒸着
電子ビーム蒸着は、異なるソース材料を用いて、ベントなしで多層蒸着を行うことができます。
6.高い材料利用効率
電子ビーム蒸着プロセスは、材料利用効率が高く、熱蒸着と比較して蒸着プロセスで無駄になる材料が少ない。
7.高度なアプリケーションへの適合性
電子ビーム蒸着は、高温材料を扱う場合、高い純度と均一性が必要な場合、多層構造が必要な場合に特に有利です。
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