スパッタリングターゲットとは、半導体ウェハー、太陽電池、光学部品などの基板上に薄膜を成膜する技術であるスパッタリングのプロセスで使用される材料である。これらのターゲットは通常、純金属、合金、または酸化物や窒化物のような化合物でできた固体スラブである。スパッタリングターゲットの主な用途は半導体産業で、電子デバイスの機能に不可欠な導電層やその他の薄膜を形成するために使用される。
詳しい説明
-
スパッタリングターゲットの組成と種類：
-
スパッタリングターゲットは、銅やアルミニウムなどの純金属、ステンレス鋼などの合金、二酸化ケイ素や窒化チタンなどの化合物など、さまざまな材料から作ることができる。材料の選択は、特定の用途や成膜される薄膜に求められる特性によって異なります。例えば半導体では、導電層を形成するために導電性の高い材料が用いられることが多い。スパッタリングのプロセス
-
スパッタリング・プロセスでは、ターゲット材料に高エネルギーの粒子（通常はイオン）を衝突させ、ターゲットから原子を放出させ、基板上に薄膜として堆積させる。このプロセスは比較的低温で行われるため、半導体ウェハーのような温度に敏感な基板の完全性を維持するのに有利です。蒸着膜の厚さは数オングストロームから数ミクロンの範囲で、用途に応じて単層または多層構造にすることができる。
-
半導体への応用
半導体産業では、スパッタリングは、導電性、絶縁性、特定の電子特性の形成など、さまざまな機能を果たす薄膜を成膜するために極めて重要である。スパッタリングされた薄膜の均一性と純度は、半導体デバイスの性能と信頼性を確保する上で極めて重要である。したがって、この産業で使用されるスパッタリングターゲットは、化学的純度と冶金的均一性に関する厳しい基準を満たす必要がある。
環境と経済性への配慮：
