蛍光X線分析は、一般的に信頼できる正確さと精度を持つと考えられており、多くの場合、火力分析法に匹敵する結果を達成します。この精度は、過小カラットや偽造材料の入手による損失を防ぐのに役立ちます。蛍光X線分析の精度は、装置の感度と安定性、試料調製技術、試料自体の特性など、いくつかの要因に影響されます。
装置の感度と安定性：
最新の蛍光X線分析装置は、その感度と安定性が誤差の主な原因ではなくなるところまで進歩しています。最先端の数学的アルゴリズムと高度な電子機器を備えたこれらの装置は、数秒以内に迅速かつ正確な結果を提供することができます。このため、金属加工施設の品質管理や合金等級の迅速な識別など、さまざまな用途に理想的です。試料調製技術：
装置技術の進歩にもかかわらず、蛍光X線分析の精度はサンプル前処理の質に大きく影響されます。試料の前処理が不適切だと、不正確な結果につながる可能性があります。蛍光X線分析用のサンプルを準備するプロセスは、分析そのものよりも手間とコストがかかる場合があります。試料調製における主な考慮事項には、試料が検査対象の材料を代表するものであること、および元素組成を変化させない方法で調製されることが含まれます。
試料の特性：
蛍光X線分析は、被検査試料の特性に特に敏感です。例えば、X線発光は試料の原子内の電子遷移に対応する特定の波長でピークを示します。これらの発光は、外側の電子からの散乱X線の連続的なバックグラウンドに重畳されます。これらの放射が検出される深さ（通常、表面下1～1000 µm）は、試料中の元素の原子量によって異なります。軽い元素は重い元素よりも検出されにくい。
非破壊性：
