PVD（物理的気相成長）とCVD（化学的気相成長）技術に関しては、ある種の触媒が重要な役割を果たしている。
PVDおよびCVD技術における触媒に関する4つのポイント
1.一般的に使用される触媒
これらの技術で一般的に使用される触媒は、コバルト、鉄、ニッケル、およびそれらの合金である。
2.カーボンナノチューブ製造における役割
これらの触媒は、CVD法によるカーボンナノチューブの製造によく使用される。
3.さまざまなCVD活性化ルート
CVDでは、プラズマトーチCVD、ホットフィラメント化学気相成長法（HFCVD）、マイクロ波プラズマ化学気相成長法（MPCVD）など、さまざまな活性化ルートを使用することができる。
4.ダイヤモンド膜成長
これらの方法を用いることで、用途に応じて様々な基板上に様々な品質のダイヤモンド膜を成長させることができます。
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