必要な真空圧は用途によって異なります。
アイドル回転数での通常のエンジン運転では、バキューム値は14 ingから22 ingの間でなければなりません。スロットルを素早く開閉すると、バキュームが 5 in.以下に下がり、その後23 in.以上にリバウンドするはずです。
真空ろ過や液体吸引など、真空を利用して液体を移動させる作業では、通常、100mbar以下の真空で十分である。これは、海面での大気圧が約1000mbarであることを考えると、利用可能な全圧力差の約90%に相当する。
蒸発性のアプリケーションでは、2mbarの範囲に近い、より高い真空深度が必要とされることが多い。必要な真空深度は、使用する溶剤、温度、その他の条件によって異なります。必要な真空深度とポンプを決定するには、慎重な計算が必要です。
真空ポンプの基本として、さまざまな圧力範囲があります:
- ラフ/低真空:1000~1mbar / 760~0.75Torr
- 微/中真空:1~10-3mbar/0.75~7.5-3Torr
- 高真空:10-3~10-7mbar/7.5-3~7.5-7Torr
- 超高真空:10-7~10-11mbar/7.5-7~7.5-11Torr
- 極高真空: < 10-11 mbar / < 7.5-11 Torr
炉の性能については、拡散ポンプを使用した炉の最高真空度は10-6 Torrの範囲であり、機械式ポンプとブロワーの組み合わせを使用した炉の最高真空度は20 Microns Hg以上である。拡散ポンプを使用した場合の運転真空は10-5 Torrの範囲、拡散ポンプを使用しない場合は50-60ミクロンHgの範囲です。高真空クロスオーバーまでのポンプダウン時間は約10分、1 x 10-4 Torrまでのポンプダウン時間は約15分である。炉のリーク率は1時間当たり5ミクロン以下であるべきである。
コールドトラップがある真空システムとない真空システムを比較すると、コールドトラップなしの場合、ポンピングされる容器内の最終圧力は約10-6~10-7Torrである。コールドトラップを使用することで、極限圧力は10-9Torrに達することができるが、ポンピング速度が約40%低下する可能性がある。また、コールドトラップを使用すると、低圧でポンプの能力が50%も低下する可能性があります。
蒸発用途では、蒸発させる物質の蒸気圧よりいくらか低い「極限真空」を持つポンプを用意することが重要である。例えば、室温での水の蒸気圧が約20Torrの場合、アプリケーションから効果的に蒸気を移動させるには、20Torr未満の極限真空を持つポンプが必要になります。
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