知識 真空圧はどうあるべきか?考慮すべき7つのポイント
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技術チーム · Kintek Solution

更新しました 2 months ago

真空圧はどうあるべきか?考慮すべき7つのポイント

真空圧に関しては、適切なレベルは使用目的によって異なります。用途によって必要な真空圧は異なります。ここでは、知っておくべきことを説明します。

真空圧はどのくらいにすべきですか?考慮すべき7つのポイント

真空圧はどうあるべきか?考慮すべき7つのポイント

1.エンジン運転

アイドリング回転数での通常のエンジン運転では、バキューム値は14 in.

スロットルを素早く開閉すると、真空圧は5 in.以下に下がり、その後23 in.以上に回復するはずです。

2.真空ろ過と液体吸引

真空ろ過や液体吸引など、真空を使用して液体を移動させる操作では、通常、100 mbar以下の真空で十分です。

これは、海面での大気圧が約1000mbarであることを考えると、利用可能な全圧力差の約90%に相当する。

3.蒸発用途

蒸発用途では、2mbarの範囲に近い、より深い真空深度が必要とされることが多い。

必要な真空深度は、使用する溶剤、温度、その他の条件によって異なります。

必要な真空深度とポンプを決定するには、慎重な計算が必要です。

4.真空ポンプの基本

真空ポンプにはさまざまな圧力範囲があります:

  • ラフ/低真空: 1000~1 mbar / 760~0.75 Torr
  • 微/中真空: 1~10-3 mbar / 0.75~7.5-3 Torr
  • 高真空 10-3から10-7 mbar / 7.5-3から7.5-7 Torr
  • 超高真空 10-7~10-11 mbar/7.5-7~7.5-11 Torr
  • 超高真空 < 10-11 mbar / < 7.5-11 Torr

5.炉の性能

炉の性能については、拡散ポンプ炉の究極真空は10-6 Torrの範囲です。

機械式ポンプとブロワーの組み合わせによる炉の場合、最終真空度は20ミクロンHg以上です。

拡散ポンプを使用した場合の運転真空は10-5 Torrの範囲、拡散ポンプを使用しない場合は50-60ミクロンHgの範囲です。

高真空クロスオーバーまでのポンプダウン時間は約10分、1 x 10-4 Torrまでのポンプダウン時間は約15分である。

炉のリーク率は1時間当たり5ミクロン以下であるべきである。

6.真空システムのコールドトラップ

コールドトラップのある真空システムとコールドトラップのない真空システムを比較すると、コールドトラップなしの場合、ポンピングされる容器内の最終圧力は約10-6~10-7 Torrである。

コールド・トラップを使用することで、極限圧力は10-9 Torrに達するが、ポンピング速度が約40%低下する可能性がある。

また、コールドトラップを使用すると、低圧でポンプの容量が50%も低下する可能性がある。

7.蒸発用途とポンプ要件

蒸発用途では、蒸発させる物質の蒸気圧よりいくらか低い「極限真空」のポンプを使用することが重要です。

例えば、室温での水の蒸気圧が約20Torrの場合、アプリケーションから効果的に蒸気を移動させるには、20Torr未満の極限真空を持つポンプが必要になります。

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