試料のマウント、特に電子顕微鏡用として最も広く用いられている方法は、直流マグネトロンスパッタリングである。この方法は、迅速で安価であること、また試料に加える熱を最小限に抑えられるため、デリケートな試料にも適用できることから好まれている。
直流マグネトロンスパッタリング:
この手法では、マグネトロンを使用してプラズマを発生させ、金属または炭素を試料にスパッタリングする。このプロセスは真空チャンバー内で行われ、ターゲット材料(通常は金、白金、または金パラジウム合金)に高エネルギーの粒子を照射して原子を放出させ、試料に蒸着させる。このコーティングはサンプルに導電性を与え、帯電を防ぎ、画像の質を高めるため、電子顕微鏡検査には極めて重要です。
- 直流マグネトロンスパッタリングの利点:最小限の熱適用:
- 試料を著しく加熱する他の方法とは異なり、マグネトロンスパッタリングは最小限の熱しか加えないため、デリケートで熱に敏感な試料に適しています。均一なコーティング:
- この方法は、電子顕微鏡で高解像度の画像を得るために不可欠な、非常に均一なコーティングを提供します。汎用性:
セラミックやポリマーのような非導電性のものも含め、幅広い材料に使用できる。その他のコーティング法
直流マグネトロンスパッタリングが最も一般的であるが、カーボンや金属の蒸着、低角度シャドーイング、電子ビーム蒸着、イオンビームスパッタリングなどの他の方法も用いられる。しかし、これらの方法は高価であったり、より高度な装置を必要としたりする。
電子顕微鏡におけるコーティングの重要性: