特に電子顕微鏡用試料のマウントには、デリケートな試料に優しく、効果的な方法が求められます。
どのような方法で試料をマウントするのか？知っておきたい5つのポイント
1.直流マグネトロンスパッタリング：望ましい方法
最も広く用いられているのが、直流マグネトロンスパッタリング法である。この方法が好まれている理由は、迅速で安価であり、熱を最小限に抑えられるため、デリケートな試料に最適だからである。
2.直流マグネトロンスパッタリングの仕組み
直流マグネトロンスパッタリングは、マグネトロンを使ってプラズマを発生させ、金属やカーボンを試料にスパッタリングする手法である。このプロセスは真空チャンバー内で行われ、ターゲット材料（通常は金、白金、金パラジウム合金）に高エネルギーの粒子が照射される。この粒子によって原子が放出され、試料上に堆積する。
3.直流マグネトロンスパッタリングの利点
- 最小限の熱適用： 他の方法と異なり、マグネトロンスパッタリングは熱を最小限に抑えられるため、熱に弱い試料に適しています。
- 均一なコーティング： 電子顕微鏡の高解像度画像に不可欠な、非常に均一なコーティングが可能。
- 汎用性： セラミックやポリマーのような非導電性材料を含め、幅広い材料に使用できる。
4.その他のコーティング法
直流マグネトロンスパッタリングが最も一般的であるが、カーボンや金属の蒸着、低角度シャドーイング、電子ビーム蒸着、イオンビームスパッタリングなどの他の方法も用いられる。しかし、これらの方法は高価であったり、より高度な装置を必要としたりする。
5.電子顕微鏡におけるコーティングの重要性
SEMおよびTEMイメージングにおいてコーティングは、試料の導電性を確保するために極めて重要である。この導電性により、画像を歪ませる帯電効果を防ぎ、コントラストを向上させることができる。例えば、導電性を持たせるために、TEMグリッドを炭素でコーティングする必要があります。また、極低温試料は、低温SEMで撮像する前に金属でコーティングされることがよくあります。
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