知識 フィジカル・デポジション・テクニックとは?4つのポイントを解説
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技術チーム · Kintek Solution

更新しました 2 months ago

フィジカル・デポジション・テクニックとは?4つのポイントを解説

物理蒸着技術は、様々な基板上に薄膜を形成するために極めて重要である。

これらの方法は、特定の用途向けに基板の特性を向上させる。

フィジカル・デポジション・テクニックとは?4つのポイントを解説

この技術には、低圧環境で基板上に材料を蒸気の形で蒸着させることが含まれる。

このプロセスは一般に物理的気相成長法(PVD)として知られている。

PVD法は、その精度と均一性が高く評価されています。コーティングから半導体製造まで幅広い用途に適しています。

物理蒸着とは?物理蒸着とは、気相から基材上に材料の薄膜を蒸着するプロセスを指します。

これは通常、低圧環境で行われます。この方法は化学反応を伴いません。

その代わり、熱力学的または機械的プロセスに依存する。物理蒸着法の主な目的は、基板の表面特性を変更することである。

これには光学的、電気的、機械的特性が含まれる。これは、材料の薄い層を追加することによって達成される。

物理蒸着における一般的な技術

スパッタリング:

ターゲット材料にイオンを照射する技術。

これにより、ターゲットから原子が放出され、基板上に蒸着される。

熱蒸着:

蒸着する材料を気化するまで加熱する。

その後、蒸気が基板上に凝縮して薄膜を形成する。電子ビーム蒸着: これは熱蒸発の特殊な形態である。電子ビームを使用して材料を加熱する。これにより、蒸着プロセスを精密に制御することができる。分子線エピタキシー(MBE):

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