電子ビーム技術（e-beam technology）は、主に半導体製造やマイクロエレクトロニクスなどの産業において、金属蒸着、材料特性の変更、滅菌、さまざまな特殊用途に使用されている。この技術は、集束した電子ビームを利用して材料を加熱し、気化させて基板上に蒸着させたり、材料の特性を変えたり、製品を滅菌したりする。
金属蒸着：
電子ビーム金属蒸着では、電子ビームを使って真空中で材料の小さなペレットを加熱し、気化させる。気化した材料は基板に蒸着し、薄く高密度のコーティングを形成する。このプロセスは、高純度で密着性の高い膜を高速で成膜するのに適している。電子ビーム蒸着は、高温金属や金属酸化物を含む幅広い材料の蒸着に特に有用であり、ベントなしで多層蒸着を容易にすることができる。材料特性の変更：
電子ビーム加工は、ポリマーの架橋、鎖の切断、その他の変化を誘発することにより、材料特性を変化させるのに有効である。この技術はさまざまな材料に応用され、熱収縮性プラスチック、熱硬化性複合材料の硬化、半導体の強化などの用途で性能を向上させている。電子ビームを精密に制御することで、ターゲットを絞った改質が可能になり、経済的・環境的なメリットがもたらされる。
滅菌：
電子ビーム滅菌は、医療機器や製品の除染方法として広く受け入れられている。高い線量率と無菌保証レベルを提供し、滅菌されたものを直ちに放出することができる。この技術は、ホイルを含む様々な材料を透過することができ、照射中の温度制御が可能であるため、材料の特性や製品の完全性を維持することができます。
特殊なアプリケーション
