知識 グラフェンのCVD法とは?7つのポイントを解説
著者のアバター

技術チーム · Kintek Solution

更新しました 1 month ago

グラフェンのCVD法とは?7つのポイントを解説

グラフェンのCVD法では、化学気相成長法(CVD)を用いて金属基板上にグラフェンを成長させる。

このプロセスでは、加熱された反応室内で気体状の反応物質を基板上に堆積させる。

そして反応が起こり、材料(この場合はグラフェン)の膜が形成される。

CVDプロセスは、金属触媒の存在下、高温で反応する炭素含有ガスに基づいている。

金属触媒は、炭素種の分解触媒としての役割と、グラフェン格子の核生成のための表面としての役割の両方を果たす。

CVDグラフェンは、六方格子構造に配列した炭素原子の単一原子厚層である。

CVDグラフェン」という用語は、特にその製造方法を指しており、他の形態のグラフェンとは異なる。

CVDプロセスでは、数層や単層のグラフェン膜を合成できるため、グラフェン製造のボトムアップ手法として広く用いられている。

グラフェン成長におけるCVDアプローチの人気は、研究室でのセットアップが容易であること、産業環境での長期使用に成功していること、そして製造のスケールアップが可能であることに起因する。

グラフェン製造のための CVD プロセスは、温度、圧力、前駆体の性質、ガス流の状態、壁/基板温度、堆積時間、活性化方法など、さまざまな処理パラメータに基づいて主に 7 つのタイプに分類できる。

これらの方法によって特性の異なるグラフェン系材料の合成が可能となり、大表面積のグラフェンを生産するための汎用的かつ効率的な方法となっている。

要約すると、グラフェンのCVD法は、気体反応物質を用いて金属基板上にグラフェンを成長させる化学気相成長法である。

この方法では、単層または多層のグラフェンシートを製造することができ、ガス流量、温度、曝露時間などのさまざまな条件によって制御することができる。

CVDプロセスは、その汎用性、拡張性、高品質のグラフェン膜を効率的に製造できることから、グラフェン製造に広く用いられている。

専門家にご相談ください。

グラフェンのCVD法とは?7つのポイントを解説

KINTEK SOLUTIONでCVDグラフェン製造の最先端科学を発見してください。 単層フィルムから多層シートまで、当社の包括的な材料と装置がお客様のラボのグラフェン合成を強化します。高品質なグラフェン製造のために、当社のCVDプロセスの多様性と効率性を採用し、研究を新たな高みへと引き上げてください。グラフェンの可能性を今すぐ引き出してください!

関連製品

プラズマ蒸着PECVDコーティング機

プラズマ蒸着PECVDコーティング機

PECVD コーティング装置でコーティング プロセスをアップグレードします。 LED、パワー半導体、MEMSなどに最適です。低温で高品質の固体膜を堆積します。

CVDダイヤモンドコーティング

CVDダイヤモンドコーティング

CVD ダイヤモンドコーティング: 切削工具、摩擦、音響用途向けの優れた熱伝導性、結晶品質、接着力

RF PECVD システム 高周波プラズマ化学蒸着

RF PECVD システム 高周波プラズマ化学蒸着

RF-PECVD は、「Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition」の頭字語です。ゲルマニウムおよびシリコン基板上にDLC(ダイヤモンドライクカーボン膜)を成膜します。 3~12umの赤外線波長範囲で利用されます。

CVDボロンドープダイヤモンド

CVDボロンドープダイヤモンド

CVD ホウ素ドープ ダイヤモンド: エレクトロニクス、光学、センシング、および量子技術の用途に合わせて調整された導電性、光学的透明性、優れた熱特性を可能にする多用途の材料です。

絞り型ナノダイヤモンドコーティング HFCVD装置

絞り型ナノダイヤモンドコーティング HFCVD装置

ナノダイヤモンド複合コーティング引抜ダイスは、超硬合金(WC-Co)を基材とし、化学気相法(略してCVD法)を用いて従来のダイヤモンドとナノダイヤモンド複合コーティングを金型の内孔表面にコーティングする。

熱管理用のCVDダイヤモンド

熱管理用のCVDダイヤモンド

熱管理用の CVD ダイヤモンド: 熱伝導率が最大 2000 W/mK の高品質ダイヤモンドで、ヒート スプレッダー、レーザー ダイオード、GaN on Diamond (GOD) アプリケーションに最適です。

ラボおよびダイヤモンド成長用の円筒共振器 MPCVD マシン

ラボおよびダイヤモンド成長用の円筒共振器 MPCVD マシン

宝飾品業界や半導体業界でダイヤモンド宝石やフィルムを成長させるために使用されるマイクロ波プラズマ化学蒸着法である円筒共振器 MPCVD マシンについて学びます。従来の HPHT 方式と比べて費用対効果の高い利点を発見してください。

黒鉛蒸発るつぼ

黒鉛蒸発るつぼ

高温用途向けの容器。材料を極度の高温に保って蒸発させ、基板上に薄膜を堆積できるようにします。

電子ビーム蒸着黒鉛るつぼ

電子ビーム蒸着黒鉛るつぼ

主にパワーエレクトロニクス分野で使用される技術。炭素原料を電子ビーム技術を用いて材料蒸着により作製したグラファイトフィルムです。

915MHz MPCVD ダイヤモンドマシン

915MHz MPCVD ダイヤモンドマシン

915MHz MPCVD ダイヤモンドマシンとその多結晶効果成長、最大面積は 8 インチに達し、単結晶の最大有効成長面積は 5 インチに達します。この装置は主に、成長にマイクロ波プラズマによるエネルギーを必要とする大型多結晶ダイヤモンド膜の製造、長尺単結晶ダイヤモンドの成長、高品質グラフェンの低温成長などに使用されます。

ドレッシングツール用CVDダイヤモンド

ドレッシングツール用CVDダイヤモンド

CVD ダイヤモンドドレッサーブランクの比類のないパフォーマンス、つまり高い熱伝導率、優れた耐摩耗性、および方向の独立性を体験してください。

CVDダイヤモンド伸線ダイスブランク

CVDダイヤモンド伸線ダイスブランク

CVDダイヤモンド伸線ダイスブランク:硬度、耐摩耗性に優れ、様々な材質の伸線に適用可能。グラファイト加工などの摩耗加工用途に最適です。

切削工具ブランク

切削工具ブランク

CVD ダイヤモンド切削工具: 非鉄材料、セラミックス、複合材料加工用の優れた耐摩耗性、低摩擦、高熱伝導性

ラボおよびダイヤモンド成長用のベルジャー共振器 MPCVD マシン

ラボおよびダイヤモンド成長用のベルジャー共振器 MPCVD マシン

ラボおよびダイヤモンドの成長用に設計されたベルジャー レゾネーター MPCVD マシンを使用して、高品質のダイヤモンド フィルムを取得します。炭素ガスとプラズマを使用してダイヤモンドを成長させるマイクロ波プラズマ化学気相成長法がどのように機能するかをご覧ください。


メッセージを残す