蒸着速度は、薄膜蒸着プロセスにおいて極めて重要な要素である。蒸着速度は、材料が基板上にどれだけ速く蒸着されるかを測定します。
蒸着速度の単位は？理解すべき5つのポイント
1.蒸着速度の一般的な単位
蒸着速度の単位は通常、単位時間あたりの長さで表されます。
2.ナノメートル毎秒（nm/s）
一般的な単位はナノメートル毎秒（nm/s）である。
3.マイクロメートル毎分（μm/min）
もうひとつの一般的な単位は、毎分マイクロメートル（μm/min）。
4.蒸着速度の計算
R_{dep}と表記される蒸着速度は、以下の式で計算できます：[R_{dep} = A \times R_{sputter} ]。
5.薄膜蒸着における重要性
蒸着速度は、薄膜の厚さと均一性を制御するために非常に重要です。
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