蛍光X線分析（XRF）の限界は、主にサンプルの前処理と分析の深さ感度にあります。XRFは非破壊で比較的簡単な分析手法ですが、正確な結果を得るためには慎重な試料前処理が必要です。さらに、元素を検出できる深さは原子量によって異なり、軽い元素の分析に影響します。
試料調製の制限
蛍光X線分析は、試料前処理の質に大きく依存します。前述のように、蛍光X線分析で最も一般的な問題は、もはや装置の感度と安定性に関係するものではなく、むしろ前処理技術に関係するものです。例えば、XRFペレタイジングを使用する場合、試料が微粉末として均質化されていること、ペレットが測定用に平らできれいな表面で準備されていることなどが重要な考慮事項となります。試料調製が不十分だと、試料の元素組成のばらつきや不純物による干渉のために、結果が不正確になる可能性があります。深さ感度の限界：
XRFは、通常1～1000 µmの深さで表面原子から放出される特性X線を分析することにより元素を検出します。検出深度は元素の原子量に依存し、軽い元素は重い元素よりも検出しにくい。この深さ感度は、特に低濃度で存在する元素や原子量の軽い元素の分析を制限することがある。例えば、リチウム、ベリリウム、ホウ素のような原子番号の小さい元素は、重い元素ほど効果的に検出されない可能性があります。
結論
