蛍光X線試料の種類には、主に固体試料、粉末試料、液体があります。正確な分析を行うためには、それぞれのタイプに特有の配慮と準備方法が必要です。
固体サンプル
固体試料には、金属、合金、電子機器、プラスチックなど、さまざまな材料が含まれます。固体試料の主な要件は、測定のための平坦で清浄な表面です。固体試料の前処理には、特に軽元素の分析に影響を与えるX線の散乱や再吸収を最小限に抑えるために、表面を滑らかに仕上げることが一般的です。定量分析では、表面を旋盤や研磨紙で仕上げてよりきめ細かくし、軽元素の精度を高める必要があります。粉末試料
粉末試料は通常、土壌、鉱石、自己触媒などの不均一な物質に使用されます。これらの試料は分析前に細かく粉砕されます。粉末試料の調製には、粉末をプレスしてペレット状にしたり、バインダーと混合したりして、分析可能な均質試料を作ることが多い。この方法は、試料内の元素分布を均一にすることで、一貫性のある信頼性の高い結果を得るのに役立ちます。
液体：
石油製品などの液体サンプルは、汚染を防ぎ正確な測定を行うために、特別な取り扱いと前処理が必要です。液体サンプルの前処理には通常、固形粒子を取り除くためのろ過と、分析に適した容器への液体の移動が含まれます。液体サンプルの中には、濃度を蛍光X線分析装置の分析範囲内に収めるために希釈が必要なものもあります。
