一般的な金属蒸着技術には、熱蒸着、化学蒸着、スパッタリングがある。
熱蒸着:
この方法では、電気抵抗ヒーターを使って高真空中で蒸着材料を溶かす。材料は気化するまで加熱され、基板上で凝縮して薄膜を形成する。これに代わる方法として、基板上で直接材料を溶かすことができる電子ビーム蒸着装置を使用する方法がある。この技法は、さまざまな金属や合金に適している。化学蒸着:
この方法では、基材を化学液に完全に浸漬し、その表面にコンフォーマルコーティングを蒸着させる。この技法は特に金属や酸化物に有効である。金属はその強度と耐久性から好まれ、酸化物は高温に耐え、比較的低温で成膜できることから選ばれる。しかし、酸化物は脆いため、用途が限定されることもある。
スパッタリング: