知識 CVDからグラフェンはどのように作られるのか?(5つのステップを解説)
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技術チーム · Kintek Solution

更新しました 4 weeks ago

CVDからグラフェンはどのように作られるのか?(5つのステップを解説)

単一原子の炭素膜であるグラフェンは、化学気相成長法(CVD)と呼ばれる方法で製造される。

このプロセスでは、金属基板上で炭化水素ガスを高温で分解する。

これにより、グラフェンの厚さと品質を精密に制御することができる。

CVDでグラフェンはどのように作られるのか?(5つの主要ステップ)

CVDからグラフェンはどのように作られるのか?(5つのステップを解説)

1.金属基板の準備

銅、白金、イリジウムなどの金属基板を高温炉に入れる。

2.炭化水素ガスの導入

メタンやエチレンなどの炭化水素ガスを反応室に導入する。

1000℃前後の温度で個々の炭素原子に分解する。

3.グラフェンの形成

炭素原子は金属表面に結合し、グラフェンの連続膜へと成長する。

金属基板は触媒として働き、反応のエネルギー障壁を下げ、グラフェンの形成を促進する。

4.制御パラメータ

グラフェンの厚さと質は、ガス流量、温度、ガスにさらす時間などのパラメーターを調整することで制御できる。

5.グラフェンの移動

一旦形成されたグラフェンは、金属基板から分離し、様々な用途のために他の基板に移すことができる。

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