真空漏れを防ぐことは、真空システムの効率と寿命を維持するために非常に重要です。
真空漏れを防ぐための7つの重要な戦略
1.適切な製造と組み立ての確保
最も重要なステップは、製造時に形状と寸法を厳密に測定することです。
これによって、コンポーネントが完璧に組み合わされ、リークが発生する可能性が低くなります。
2.気密性のテスト
フランジの取り付け状態を含め、ガス・フロー・システムの気密性を定期的にテストすることが不可欠です。
これは、ヘリウムリークディテクターや残留ガス分析を使って行うことができ、肉眼では見えない小さなリークを見つけることができます。
3.シーリング材のメンテナンスと交換
以前のリーク箇所を記録し、一時的なシーリング材を交換することは極めて重要である。
このプロアクティブなアプローチは、将来の問題を最小限に抑え、予期せぬ機器のダウンタイムを防ぎます。
4.不活性ガスの使用
ガスフローシステムを不活性ガスでパージすることは、リークや汚染を防ぐのに役立つ。
これは、反応性物質が処理されるシステムでは特に重要である。
5.アウトガスの低減
アウトガスは、真空ポンピングの前に乾燥させることで最小限に抑えることができる。
高真空システムには、低真空システムで使用されるゴム製ガスケットよりも信頼性の高い、金属製ガスケットシールを備えた金属製チャンバーが必要です。
アウトガスをさらに減少させるためには、システムを清潔に保ち、有機物を含まないようにしなければならない。6.ポンプ効率の最適化 クリティカルな用途では、5ミクロン/時未満のリーク率を維持することが必須である。
