真空漏れを防ぐには、いくつかの対策を講じることができる：
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適切な製造と組み立ての確保:最も重要なステップは、製造時に形状と寸法を厳密に測定することである。こうすることで、部品が完璧に組み合わされ、漏れの可能性が低くなります。
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気密性のテスト:フランジの取り付け状態を含め、ガス・フロー・システムの気密性を定期的に検査することが不可欠です。これはヘリウムリークディテクターや残留ガス分析を使って行うことができ、肉眼では見えない小さなリークを見つけることができる。
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シール材のメンテナンスと交換:以前のリーク箇所を記録し、一時的なシーリングコンパウンドを交換することは非常に重要である。このプロアクティブなアプローチは、将来の問題を最小限に抑え、予期せぬ機器のダウンタイムを防ぎます。
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不活性ガスの使用:ガスフローシステムを不活性ガスでパージすることで、リークや汚染を防ぐことができる。これは、反応性物質が処理されるシステムでは特に重要です。
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アウトガスの低減:アウトガスは、真空ポンプの前に乾燥させることで最小限に抑えることができます。高真空システムには、低真空システムで使用されるゴム製ガスケットよりも信頼性の高い、金属製ガスケットシールを備えた金属製チャンバーが必要です。アウトガスをさらに減少させるためには、システムを清潔に保ち、有機物を含まないようにしなければならない。
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ポンプ効率の最適化:重要な用途では、5ミクロン/時未満のリーク率を維持することが必須です。これには、接合部、溶接部、シール、バルブ、ポンプを含む真空システム全体に細心の注意を払う必要があります。
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シール方法:溶接、ろう付け、接着など、さまざまなシール方法が採用できる。それぞれの方法には特有の要件があり、関係する材料や条件に基づいて選択される。例えば、溶接は真空チャンバーを密閉するのに最適な方法ですが、高度な訓練を受けた溶接工が必要です。ろう付けも選択肢のひとつだが、コストが高く、慎重に行わなければならない。接着は特殊な条件下で適用され、高性能の接着剤が必要となる。
このような対策を実施することで、真空炉の性能と寿命を最適化することができ、事後的なメンテナンスアプローチと比較して総運用コストの削減につながります。効果的なリーク防止には、メンテナンスや純正交換部品の入手のためのOEMやサードパーティ・サプライヤーとの連携も重要です。
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