XRF分光法は、非破壊で物質の元素組成を測定できるため、元素分析に使用されます。この技術は、試料にX線を照射し、その結果生じる蛍光放射を測定することで機能し、各元素に固有のスペクトルを生成します。これにより、試料に含まれる元素を特定することができます。
蛍光X線分析法には、発光分光分析法（OES）やレーザー誘起ブレークダウン分光分析法（LIBS）などの代替技術と比較して、いくつかの利点があります。これらの代替技術は分析能力に限界があり、ワークピースに目に見える傷を残す可能性がありますが、XRF分光法はプロセス全体を通してサンプルの完全性を維持します。
最適な結果を得るために、蛍光X線分析法では、プラチナ製実験器具、高性能溶融炉、化学専用の金型など、さまざまな実験器具を使用する必要があります。これらのツールは、試料の正確な定量・定性分析を容易にします。
XRF分光法の他にも、元素分析のための技術には、溶液中での固体ラン、ケースフィルム法、プレスドペレット法などがあります。これらの手法では、固体試料を非水溶媒に溶解したり、KBrセルやNaClセルに試料を沈殿させたり、微粉砕した固体試料を透明なペレットに圧縮したりする。しかし、蛍光X線分析法は、バルク材料中に存在する元素を非破壊で同定・定量でき、迅速かつ正確な結果を提供できるため、元素分析の最も効果的なツールの1つであり続けています。
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