蒸着技術は、光学、航空宇宙、太陽電池製造、医療機器製造など、さまざまな産業で不可欠な技術である。
これらの技術は、表面に薄膜やコーティングを形成するために特定の材料に依存している。
ここでは、蒸着技術に使用される10の主要材料を紹介する：
1.純金属
純金属は、その高い導電性、耐久性、耐腐食性により、しばしば使用される。
例えば、金、銀、チタン、タングステン、銅などである。
例えば金は、その優れた反射率と耐酸化性から、光学コーティングによく使われる。
2.酸化物
酸化物は半導体産業において非常に重要である。
二酸化ケイ素はその一般的な例で、絶縁特性と環境破壊から下層を保護する能力から広く使用されている。
3.窒化物
窒化チタンのような窒化物は、その硬度と耐摩耗性のために使用される。
これらの材料は、耐久性のあるコーティングを必要とする用途に適しています。
4.硫化物
硫化カドミウムなどの硫化物は、その半導体特性により太陽電池に使用される。
5.フッ化物
フッ化マグネシウムのような材料は、屈折率が低く、反射を抑えることができるため、光学用途に使用される。
6.アンチモン化物
アンチモン化物は、そのユニークな電子特性のために使用され、特定の半導体用途に適している。
7.ヒ素化物
ヒ素化物は電子移動度が高いことで知られ、高速電子デバイスに最適です。
8.ホウ化物
ホウ化物は融点と硬度が高く、高温用途に適している。
9.炭化物
炭化ケイ素などの炭化物は、非常に高い硬度と耐摩耗性で知られ、切削工具や研磨材に最適である。
10.セレン化物
セレンは、光を効率的に電気に変換する能力があるため、太陽光発電の用途に使用される。
蒸発プロセスは通常、汚染を防ぎ、目的の材料のみが基板上に薄膜を形成するように、真空チャンバー内で行われる。
材料は気化するまで高温に加熱され、蒸気は基板上で凝縮して薄膜を形成する。
この工程は、最終製品の性能にとって重要なコーティングの正確な厚みと均一性を達成するために制御される。
蒸発材料の形状は、チャンク、フォイル、ペレット、ワイヤー、ロッド、ショット、スラグなどさまざまで、蒸発技術の特定の要件や必要なコーティングの種類によって異なります。
形状の選択は、蒸発速度と蒸着膜の均一性に影響する。
一般的な熱蒸発法には、抵抗加熱蒸発法、電子ビーム蒸発法、フラッシュ蒸発法、誘導加熱蒸発法などがある。
それぞれの方法には利点があり、材料特性とコーティングプロセスの望ましい結果に基づいて選択される。
要約すると、蒸発材料は多様であり、その特定の特性とアプリケーションの要件に基づいて選択される。
これらの材料の純度レベルは、コーティングの品質と性能を保証するために、一般的に99.9%から99.99999%と非常に高くなっています。
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