材料を蒸発させる方法には、主に熱蒸発法と電子ビーム蒸発法がある。
考慮すべき5つのポイント
1.加熱方法
熱蒸発法は、電流を使ってるつぼを加熱する。
電子ビーム蒸着は、高エネルギーの電子ビームを使用して材料を直接加熱する。
2.適性
熱蒸発法は、金属や非金属のような融点の低い材料に適している。
電子ビーム蒸発法は、耐火性金属を含む、より高温の材料を扱うことができる。
3.蒸着速度と純度
電子ビーム蒸着は一般的に蒸着速度が速い。
電子ビーム蒸着は、不純物が混入する可能性のあるるつぼの加熱を避けることができるため、より純度の高い膜を作ることができる。
4.装置とスケーラビリティ
電子ビーム蒸着は、より高度で高価な装置を必要とする。
多くの用途では、熱蒸発法の方がシンプルで費用対効果が高い。
5.特定の要件
熱蒸発と電子ビーム蒸発のどちらを選択するかは、蒸発させる材料の具体的な要件、必要な純度と蒸着速度、利用可能な装置の予算と複雑さによって決まります。
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