DLC（ダイヤモンドライクカーボン）コーティングの化学組成は、主にアモルファスカーボンで構成され、そのダイヤモンドライクな特性に寄与するsp3混成炭素結合を多く含んでいる。DLCコーティングは、プラズマアシスト化学気相成長法（PACVD）や高周波プラズマアシスト化学気相成長法（RF PECVD）などのプロセスによって形成され、メタンのような炭化水素ガスがプラズマ環境で解離する。その結果、炭素原子と水素原子が基材表面で再結合し、高い硬度や耐摩耗性など、ダイヤモンドに似た特性を持つ被膜が形成される。
詳細説明
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DLCの組成：
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DLCコーティングの主成分は炭素で、sp2結合とsp3結合の両方が混成した構造を持つ。ダイヤモンドに見られるようなsp3結合が、コーティングに高い硬度と耐摩耗性を与えている。sp2結合とsp3結合の正確な比率は、成膜プロセスと条件によって変化し、DLCの特性に影響を与える。成膜プロセス
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DLCコーティングの形成には通常、プラズマ環境下での炭化水素ガスの解離が関与する。RF PECVD法では、ガスはプラズマによってイオン化され、反応種に分断されます。これらのエネルギー種が基材表面で反応・凝縮し、炭素リッチな膜が形成される。このプロセスは比較的低温で行われるため、さまざまな基材に良好に密着する。
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特性と用途
高硬度（ビッカース硬度で9000HVまで）、耐摩耗性、低摩擦特性により、DLCコーティングはエンジンやメカニカルアセンブリのようなトライボロジーシステムへの応用に理想的である。また、後処理の必要なく優れた表面仕上げが得られるため、高精度工具や装飾用途にも適しています。さらに、DLCコーティングは化学的に不活性で生体適合性があるため、医療用部品やインプラントへの用途も広がっています。
誤解と比較：
