SEM用の金スパッタリングは、非導電性または導電性の低い試料に金の薄層を蒸着するために使用されるプロセスである。
このプロセスによって試料の導電性が向上し、走査型電子顕微鏡（SEM）検査中の帯電が防止される。
また、高分解能イメージングに不可欠な二次電子の放出を増加させることで、S/N比を向上させます。
理解すべき4つのポイント
1.試料の準備
非導電性または導電性の低い材料は、SEMで効果的に検査する前に導電性コーティングが必要である。
金スパッタリングは、このコーティングに使用される方法の一つである。
金層は導電体として作用し、SEMの電子ビームが帯電効果を起こすことなく試料と相互作用することを可能にする。
2.スパッタリングのプロセス
このプロセスでは、スパッターコーターと呼ばれる装置を使用する。
この装置は金ターゲットにイオンを照射し、金の原子を試料上に放出・堆積させる。
これは、均一で一貫性のある層を確保するために、制御された条件下で行われる。
金層の厚さは非常に重要で、薄すぎると十分な導電性が得られず、厚すぎると試料の細部が見えなくなることがある。
3.SEMの利点
帯電の防止： 金スパッタリングは、導電性の経路を提供することで、SEM画像を歪ませ、電子ビームを妨害する可能性のある試料上の静電気の蓄積を防止する。
二次電子放出の促進： 金は二次電子の放出に優れ、SEMでのイメージングに重要な役割を果たします。金コーティングは、試料から放出される二次電子の数を増加させ、S/N比を改善し、画像の解像度を向上させます。
再現性と均一性： kintek金スパッタリングシステムのような高度なスパッタリング装置では、金層の高い再現性と均一性が確保される。
4.応用と限界
金スパッタリングは、高倍率（最大100,000倍）や詳細なイメージングを必要とする用途に特に有効である。
しかし、X線スペクトロスコピーを伴う用途には不向きで、X線信号への干渉が少ないカーボンコーティングが好まれます。
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