電子ビーム蒸着は、主に様々な材料に高純度で緻密なコーティングを形成するために使用される、多用途で精密な蒸着技術である。
特に、高温耐性、耐摩耗性、耐薬品性、または特定の光学特性を持つ材料を必要とする産業で効果的です。
このプロセスは、高融点の材料を蒸発させる能力があるため、原子・分子レベルでの高純度で精密な金属皮膜の成膜が可能です。
5つの主な用途
1.高温耐性
電子ビーム蒸着は、蒸発温度が高い白金や二酸化ケイ素のような材料の蒸着に使用される。
この能力は、部品が過酷な条件に耐えなければならない航空宇宙や自動車などの産業において極めて重要である。
2.耐摩耗性と耐薬品性
このプロセスは、摩耗や化学薬品に対する材料の耐久性や耐性を高めるコーティングを作るのに理想的である。
これは製造業や建設業において有益である。
3.光学特性
電子機器や消費財に使用される材料の透過、反射、吸収特性を向上させる光学コーティングの製造に、電子ビーム蒸着が採用されています。
4.プロセスのメカニズム
電子ビーム蒸着プロセスでは、ジュール加熱によりタングステンフィラメントから電子が放出される。
これらの電子は、高電圧を使用して、蒸着される材料が入ったるつぼに向かって加速される。
磁場が電子ビームを集束させ、電子ビームが材料にエネルギーを伝えて蒸発させ、基板上に蒸着させる。
5.反応性蒸着
酸素や窒素のような反応性ガスの分圧をチャンバー内に導入することで、非金属膜を反応性蒸着することができる。
これにより、達成できる材料と特性の範囲が広がります。
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