ケミカル・バス・デポジションは別名CBD (Chemical Bath Deposition)とも呼ばれる。化学溶液析出法(CSD).
この方法では、基板を化学溶液に浸し、溶液中の化学反応によって薄膜を蒸着させる。
CBD は、高価な真空システムや高温を必要としないため、その簡便さと費用対効果が特徴である。
このプロセスでは、基板表面に所望の膜を形成するために反応する前駆体を含む浴に基板を浸す。
この方法は、複雑な形状を均一にコーティングできるため、物理的な方法では困難な材料の薄膜を成膜するのに特に有用である。
化学溶液蒸着法(CSD)CBDと似ていますが、一般的には有機溶媒と、溶媒に溶解または懸濁させた有機金属粉末を使用します。
基板はこの溶液に浸され、化学反応によって薄膜が蒸着される。
CSDは電気めっきと比較されることが多いが、一般的にはより単純で安価であり、膜質や均一性の点では同等の結果をもたらす。
CBDもCSDも、より広範なカテゴリーである化学蒸着法とは対照的である。物理蒸着法 とは対照的である。
化学蒸着法は、特に高スループットと均一なコーティングが要求される用途において、その低コストと使いやすさから好まれています。
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